国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018056210) 複合基板,その製法及び電子デバイス

Pub. No.:    WO/2018/056210    International Application No.:    PCT/JP2017/033454
Publication Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 16 01:59:59 CEST 2017
IPC: H03H 9/25
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: NOMOTO, Yuki
野本 祐輝
TANAKA, Kei
田中 啓
INOUE, Katsuhiro
井上 勝弘
KATSUDA, Yuji
勝田 祐司
Title: 複合基板,その製法及び電子デバイス
Abstract:
本発明の複合基板は、支持基板と機能性基板とが直接接合された複合基板であって、支持基板は、サイアロン焼結体であるものである。支持基板の音速は5000m/s以上が好ましい。支持基板の40~400℃の熱膨張係数は3.0ppm/K以下が好ましい。