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1. (WO2018056039) 基板処理装置および基板処理方法

Pub. No.:    WO/2018/056039    International Application No.:    PCT/JP2017/031798
Publication Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Sep 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/027
H01L 21/304
Applicants: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
株式会社SCREENホールディングス
Inventors: HATANO, Akito
波多野 章人
HAYASHI, Toyohide
林 豊秀
GOHARA, Takayuki
郷原 隆行
TAKAHASHI, Hiroaki
高橋 弘明
SOTOKU, Kota
宗徳 皓太
Title: 基板処理装置および基板処理方法
Abstract:
基板処理装置は、支持部材と、フードと、給気ユニットと、排気ユニットとを備える。給気ユニットは、給気口から吐出された気体を、基板の上面と天井面との間の空間に当該空間のまわりから供給する。排気ユニットは、天井面において基板の上面の中心部に対向する位置で開口する排気口を介して基板の上面と天井面との間の気体を排出する。基板の上面の中心部での基板の上面と天井面との間隔は、基板の上面の外周部での基板の上面と天井面との間隔よりも狭い。