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1. (WO2018055994) ペリクル用支持枠及びペリクル並びにその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/055994    国際出願番号:    PCT/JP2017/030943
国際公開日: 29.03.2018 国際出願日: 29.08.2017
IPC:
G03F 1/64 (2012.01), C25D 11/18 (2006.01)
出願人: NIPPON LIGHT METAL COMPANY, LTD. [JP/JP]; 2-20, Higashi-shinagawa 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1408628 (JP)
発明者: YAMAGUCHI Takayuki; (JP)
代理人: NAKA, Koichi; (JP).
MORISADA Yoshiaki; (JP).
TANAKA Isao; (JP)
優先権情報:
2016-182624 20.09.2016 JP
発明の名称: (EN) SUPPORT FRAME FOR PELLICLES, PELLICLE, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) CADRE DE SUPPORT POUR PELLICULES, PELLICULE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CE CADRE ET DE CETTE PELLICULE
(JA) ペリクル用支持枠及びペリクル並びにその製造方法
要約: front page image
(EN)The present invention provides a support frame for pellicles that has both low dusting characteristics and high light fastness and the ion elution amount of which is reduced to the utmost limit to an extent that noise is not generated even when a short wavelength laser is used for an exposure light source, a pellicle using the support frame for pellicles, and a method for efficiently manufacturing same. A support frame for pellicles characterized by having a frame bar comprising aluminum or aluminum alloy and an inorganic coating layer formed on the surface of the frame bar, the principal chain of the inorganic coating layer being constituted by a -Si-O-Si-O- bond. It is preferable that an anodic oxide film be formed between the frame bar and the inorganic coating layer.
(FR)L'invention a trait à un cadre de support pour pellicules qui présente à la fois des caractéristiques de faible poudrage et une solidité élevée à la lumière, ainsi qu'une quantité d'élution ionique réduite à l'extrême à tel point qu'aucun bruit n'est généré même lorsqu'un laser à courte longueur d'onde est utilisé pour une source de lumière d'exposition, à une pellicule utilisant le cadre de support pour pellicules, et à un procédé permettant de fabriquer efficacement ce cadre et cette pellicule. Un cadre de support pour pellicules est caractérisé en ce qu'il possède une barre de cadre comprenant de l'aluminium ou un alliage d'aluminium et une couche de revêtement inorganique formée sur la surface de la barre de cadre, la chaîne principale de la couche de revêtement inorganique étant constituée par une liaison -Si-O-Si-O-. Il est préférable qu'un film d'oxyde anodique soit formé entre ladite barre de cadre et ladite couche de revêtement inorganique.
(JA)低発塵性と高耐光性を兼ね備えたペリクル用支持枠であって、露光光源に短波長レーザーを用いた場合であってもヘイズが生成しない程度にまで、イオン溶出量を極限にまで低減したペリクル用支持枠及び当該ペリクル用支持枠を用いたペリクル並びにその効率的な製造方法を提供する。アルミニウム又はアルミニウム合金からなるフレーム材と、当該フレーム材の表面に形成された無機系コーティング層と、を有し、当該無機系コーティング層は主鎖が-Si-O-Si-O-結合で構成されること、を特徴とするペリクル用支持枠。フレーム枠と無機系コーティング層の間には、陽極酸化皮膜が形成されていることが好ましい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)