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1. (WO2018055978) 脱臭装置及び塗布装置
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Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/055978    国際出願番号:    PCT/JP2017/030448
国際公開日: 29.03.2018 国際出願日: 25.08.2017
IPC:
B05C 11/10 (2006.01), B01D 53/74 (2006.01), B05B 13/00 (2006.01), B05B 15/00 (2006.01), B05B 15/12 (2006.01), B05C 15/00 (2006.01), B05C 21/00 (2006.01)
出願人: TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; Yaesu Ryumeikan Bldg., 3-22, Yaesu 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030028 (JP)
発明者: HAMAKAWA, Kenji; (JP).
MORI, Toshihiro; (JP).
OKAMOTO, Kanji; (JP)
優先権情報:
2016-184050 21.09.2016 JP
発明の名称: (EN) DE-ODORIZING DEVICE AND COATING APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE DÉSODORISATION ET APPAREIL DE REVÊTEMENT
(JA) 脱臭装置及び塗布装置
要約: front page image
(EN)Provided are: a de-odorizing device that limits generation of dust due to scraping of odor piping through which odor flows without reducing the odor amount and is capable of improving durability; and a coating apparatus provided with said de-odorizing device. Specifically, the de-odorizing device, which is provided in a coating apparatus for forming a coating film on substrates conveyed on a stage surface: has a deodorizer body that is provided so as to be movable with respect to a coater and is for de-odorizing the odor of a waste liquid tray, a support frame with an exhaust air suction source, and joint duct sections that connect the deodorizer body and the support frame and are for conducting the odor in the deodorizer body to the exhaust air suction source; and is configured so that the joint duct sections have a communicating duct that connects the deodorizer body with the support frame and a turning support part for supporting the communicating duct so as to be rotatable around an axis that is perpendicular to the stage surface, and the support frame is provided with difference-absorbing guide parts that allow the turning support parts to be displaced in a direction orthogonal to the movement direction of the deodorizer body.
(FR)La présente invention concerne : un dispositif de désodorisation qui limite la génération de poussière due au raclage d'une tuyauterie d'odeur à travers laquelle l'odeur s'écoule sans réduire la quantité d'odeur et est capable d'améliorer la durabilité ; et un appareil de revêtement pourvu dudit dispositif de désodorisation. Spécifiquement, le dispositif de désodorisation, qui est disposé dans un appareil de revêtement pour former un film de revêtement sur des substrats transportés sur une surface d'étage : comprend un corps de désodorisant qui est disposé de façon à être mobile par rapport à un dispositif de revêtement et est destiné à désodoriser l'odeur d'un plateau de liquide de déchets, un cadre de support avec une source d'aspiration d'air d'échappement, et des sections de conduit d'articulation qui relient le corps de désodorisant et le cadre de support et sont destinées à conduire l'odeur dans le corps de désodorisant vers la source d'aspiration d'air d'échappement ; et est conçu de telle sorte que les sections de conduit d'articulation comportent un conduit de communication qui raccorde le corps de désodorisant au cadre de support et une partie de support de rotation pour supporter le conduit de communication de façon à pouvoir tourner autour d'un axe qui est perpendiculaire à la surface d'étage, et le cadre de support est pourvu de parties de guidage d'absorption de différence qui permettent aux parties de support rotatives de tourner d'être déplacées dans une direction orthogonale à la direction de déplacement du corps de désodorisant.
(JA)臭気量を低下させることなく、臭気を流通させる臭気配管部の擦れによる発塵を抑え、耐久性を向上させることができる脱臭装置及びその脱臭装置を備えた塗布装置を提供する。具体的には、ステージ面に搬送された基板に塗布膜を形成する塗布装置に設けられる脱臭装置であって、塗布器に対して移動可能に設けられ、廃液トレイの臭気を脱臭する脱臭器本体と、排気吸引源を有する支持フレーム部と、脱臭器本体と支持フレーム部とを連結し、前記脱臭器本体の臭気を排気吸引源に導くジョイントダクト部と、を有しており、ジョイントダクト部は、脱臭器本体と支持フレームとを連結する連通ダクト部と、連通ダクト部をステージ面に垂直な軸周りに回転可能に支持する旋回支持部とを有しており、支持フレーム部には、旋回支持部が脱臭器本体の移動方向と直交する方向に変位することを許容する差分吸収ガイド部が設けられている構成とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)