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1. (WO2018055974) 石英ガラスルツボ及びその製造方法並びに石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/055974    国際出願番号:    PCT/JP2017/030266
国際公開日: 29.03.2018 国際出願日: 24.08.2017
IPC:
C30B 29/06 (2006.01), C03B 20/00 (2006.01), C30B 15/10 (2006.01)
出願人: SUMCO CORPORATION [JP/JP]; 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku Tokyo 1058634 (JP)
発明者: KISHI Hiroshi; (JP).
HASEBE Kouta; (JP).
ABE Takahiro; (JP).
FUJIWARA Hideki; (JP)
代理人: WASHIZU Mitsuhiro; (JP).
OGATA Kazufumi; (JP).
KUROSE Yasuyuki; (JP)
優先権情報:
2016-185293 23.09.2016 JP
発明の名称: (EN) QUARTZ GLASS CRUCIBLE, METHOD FOR MANUFACTURING SAME, AND SILICON SINGLE CRYSTAL PRODUCTION METHOD USING QUARTZ GLASS CRUCIBLE
(FR) CREUSET EN VERRE DE QUARTZ, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE MONOCRISTAL DE SILICIUM METTANT EN ŒUVRE LE CREUSET EN VERRE DE QUARTZ
(JA) 石英ガラスルツボ及びその製造方法並びに石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の製造方法
要約: front page image
(EN)[Problem] To provide a quartz glass crucible that is durable to a process for pulling up single crystals over a very long period of time such as multiple pulling up and a method for manufacturing the quartz glass crucible. [Solution] A quartz glass crucible 1 comprises: a bottomed cylindrical crucible body 10 formed of quartz glass; and a first coating film 13A containing a crystallization promoting agent, said first coating film 13A being formed on an inner surface 10a of the crucible body 10 so that an inner crystalline layer consisting of masses of dome- or column-type crystal grains is formed on the surface part of the inner surface 10a by heating during a process for pulling up silicon single crystals by the Czochralski method.
(FR)Cette invention porte sur la fourniture d'un creuset en verre de quartz durable dans un procédé de tirage de monocristaux sur une très longue période de temps, telle que pour des tirages multiples, et un procédé de fabrication du creuset en verre de quartz. Un creuset en verre de quartz (1) selon l'invention comprend : un corps de creuset cylindrique à fond plein (10) fait de verre de quartz; et un premier film de revêtement (13A) contenant un agent favorisant la cristallisation, ledit premier film de revêtement (13A) étant formé sur une surface interne (10a) du corps de creuset (10) de telle sorte qu'une couche cristalline interne constituée de masses de grains cristallins de type dôme ou colonne est formée sur la partie superficielle de la surface interne (10a) par chauffage au cours d'un procédé de tirage de monocristaux de silicium par le procédé de Czochralski.
(JA)【課題】マルチ引き上げなどの非常に長時間の単結晶引き上げ工程に耐えることができる石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】石英ガラスルツボ1は、石英ガラスからなる有底円筒状のルツボ本体10と、チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の引き上げ工程中の加熱によってルツボ本体10の内面10aの表層部にドーム状又は柱状の結晶粒の集合からなる内側結晶層が形成されるように前記内面10aに形成された第1の結晶化促進剤含有塗布膜13Aとを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)