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1. (WO2018055952) 圧力センサ

Pub. No.:    WO/2018/055952    International Application No.:    PCT/JP2017/029307
Publication Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Aug 15 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01L 9/00
Applicants: SAGINOMIYA SEISAKUSHO, INC.
株式会社鷺宮製作所
Inventors: TAKIMOTO Kazuya
滝本 和哉
MORITA Masahiro
森田 將裕
SAKAI Rihito
堺 理人
TANAKA Tatsuya
田中 達也
Title: 圧力センサ
Abstract:
本発明の目的は、ピエゾ抵抗効果等を利用した圧力検出素子を使用した圧力センサにおいて、温度変化による圧力検出素子の歪を低減し、精度の向上、及び、温度応答性の改善を図ることができる圧力センサを提供することである。本発明の圧力センサ(100)は、流体の圧力を検出する圧力検出素子(126)と、圧力検出素子(126)を支持する支持部材(125)と、圧力検出素子(126)と支持部材(125)を接着して固定する、接着剤を塗布して形成される接着剤層(125A)とを備える圧力センサにおいて、接着剤層(125A)は、初期硬化層(125A1)と、チップマウント硬化層(125A2)との2層から構成されることを特徴とする。