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1. (WO2018055889) 加熱接合用シート及びダイシングテープ付き加熱接合用シート
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国際公開番号: WO/2018/055889 国際出願番号: PCT/JP2017/026085
国際公開日: 29.03.2018 国際出願日: 19.07.2017
IPC:
H01L 21/52 (2006.01) ,C09J 7/02 (2006.01) ,H01L 21/301 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50
サブグループ21/06~21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
52
容器中への半導体本体のマウント
C 化学;冶金
09
染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用
J
接着剤;接着方法一般の非機械的観点;他に分類されない接着方法;物質の接着剤としての使用
7
フィルム状または箔状の接着剤
02
担体上のもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
301
半導体本体を別個の部品に細分割するため,例.分離する
出願人:
日東電工株式会社 NITTO DENKO CORPORATION [JP/JP]; 大阪府茨木市下穂積1丁目1番2号 1-1-2,Shimohozumi,Ibaraki-shi, Osaka 5678680, JP
発明者:
菅生 悠樹 SUGO,Yuki; JP
本田 哲士 HONDA,Satoshi; JP
代理人:
特許業務法人 ユニアス国際特許事務所 UNIUS PATENT ATTORNEYS OFFICE; 大阪府大阪市淀川区西中島5丁目13-9 新大阪MTビル1号館2階 First Shin-Osaka MT Bldg. 2nd Floor, 5-13-9 Nishinakajima, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320011, JP
優先権情報:
2016-18432021.09.2016JP
発明の名称: (EN) HEAT BONDING SHEET, AND HEAT BONDING SHEET WITH DICING TAPE
(FR) FEUILLE DE THERMOCOLLAGE, ET FEUILLE DE THERMOCOLLAGE DOTÉE D'UN RUBAN DE DÉCOUPAGE EN DÉS
(JA) 加熱接合用シート及びダイシングテープ付き加熱接合用シート
要約:
(EN) Provided are: a heat bonding sheet with which it is possible to stably obtain a sintered layer having desired characteristics, and in which changes in composition can be inhibited; and a heat bonding sheet with a dicing tape, having said heat bonding sheet. A heat bonding sheet having a precursor that becomes a sintered layer by heating, wherein the weight loss ΔW0(%), when an analysis by differential thermogravimetric analysis is performed in a nitrogen atmosphere from 23°C to 400°C at a temperature increase speed of 10 °C/min before the heat bonding sheet is exposed to an atmosphere having a temperature of 23 ± 2°C and a humidity of 50 ± 20%, and the weight loss ΔW24(%), when an analysis by differential thermogravimetric analysis is performed in a nitrogen atmosphere from 23°C to 400°C at a temperature increase speed of 10 °C/min after the heat bonding sheet has been exposed to an atmosphere having a temperature of 23 ± 2°C and a humidity of 50 ± 20%, satisfy the following relationship (3). -1% ≤ ΔW0-ΔW24 ≤ 0.5% (3)
(FR) L'invention concerne : une feuille de thermocollage avec laquelle il est possible d'obtenir de manière stable une couche frittée présentant des caractéristiques souhaitées, et dans laquelle des changements de composition peuvent être inhibés ; et une feuille de thermocollage avec ruban de découpage en dés, présentant ladite feuille de thermocollage. Une feuille de thermocollage présentant un précurseur qui devient une couche frittée par chauffage, la perte de poids ΔW0 (%), lorsqu'une analyse thermogravimétrique différentielle est effectuée dans une atmosphère d'azote de 23 °C à 400 °C à une vitesse d'augmentation de température de 10 °C/min avant que la feuille de thermocollage ne soit exposée à une atmosphère présentant une température de 23 ± 2 °C et une humidité de 50 ± 20 %, et la perte de poids ΔW24 (%), lorsqu'une analyse thermogravimétrique différentielle est effectuée dans une atmosphère d'azote de 23 °C à 400 °C à une vitesse d'augmentation de température de 10 °C/min après que la feuille de thermocollage a été exposée à une atmosphère présentant une température de 23 ± 2 °C et une humidité de 50 ± 20 %, satisfont la relation suivante (3). -1 % ≤ ΔW0-ΔW24 ≤ 0,5 % (3)
(JA) 組成変化を抑制可能であり、所望の特性を有する焼結層を安定して得られる加熱接合シート、及び当該加熱接合用シートを有するダイシングテープ付き加熱接合用シートを提供する。加熱により焼結層となる前駆層を有する加熱接合用シートであって、前記加熱接合用シートを温度23±2℃、湿度50±20%の雰囲気に曝露する前に、差動型示差熱天秤による分析を窒素雰囲気中、23℃から400℃まで昇温速度10℃/minで行った際の重量減少率ΔW(%)と、前記加熱接合用シートを温度23±2℃、湿度50±20%の雰囲気に24時間曝露した後に、差動型示差熱天秤による分析を窒素雰囲気中、23℃から400℃まで昇温速度10℃/minで行った際の重量減少率ΔW24(%)とが、下記式(3)の関係を満たす加熱接合用シート。 -1%≦ΔW-ΔW24≦0.5% (3)
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)