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1. (WO2018055834) 基板処理装置

Pub. No.:    WO/2018/055834    International Application No.:    PCT/JP2017/019609
Publication Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri May 26 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
Applicants: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
株式会社SCREENホールディングス
Inventors: HATANO, Akito
波多野 章人
HAYASHI, Toyohide
林 豊秀
SHIMAI, Motoyuki
島井 基行
Title: 基板処理装置
Abstract:
基板処理装置は、スピンモータを制御することにより従動部を可動チャックと共に基板の回転軸線まわりに回転させ、ガード昇降ユニットを制御することにより駆動部をスプラッシュガードと共に鉛直方向に移動させる制御装置を備える。従動部および駆動部は、互いに離れた状態で水平または鉛直な対向方向に対向する。その後、従動部および駆動部が互いに接触し、駆動部が従動部を対向方向に押す。これにより、可動チャックが開位置に配置される。その後、従動部および駆動部が互いに離れる。可動チャックは、コイルバネの力で閉位置の方に戻される。