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1. (WO2018055704) 半導体装置およびその製造方法
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国際公開番号: WO/2018/055704 国際出願番号: PCT/JP2016/077889
国際公開日: 29.03.2018 国際出願日: 21.09.2016
IPC:
H01L 21/336 (2006.01) ,H01L 29/788 (2006.01) ,H01L 29/792 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
334
ユニポーラ型の装置の製造のための多段階工程
335
電界効果トランジスタ
336
絶縁ゲートを有するもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29
整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部(31/00~47/00,51/05が優先;半導体本体または電極以外の細部23/00;1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品からなる装置27/00
66
半導体装置の型
68
整流,増幅またはスイッチされる電流を流さない電極に電流のみまたは電位のみを与えることにより制御できるもの
76
ユニポーラ装置
772
電界効果トランジスタ
78
絶縁ゲートによって生じる電界効果を有するもの
788
浮遊ゲートを有するもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29
整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部(31/00~47/00,51/05が優先;半導体本体または電極以外の細部23/00;1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品からなる装置27/00
66
半導体装置の型
68
整流,増幅またはスイッチされる電流を流さない電極に電流のみまたは電位のみを与えることにより制御できるもの
76
ユニポーラ装置
772
電界効果トランジスタ
78
絶縁ゲートによって生じる電界効果を有するもの
792
電荷トラッピングゲート絶縁体,例.MNOSメモリトランジスタ,を有するもの
出願人:
東芝メモリ株式会社 TOSHIBA MEMORY CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区芝浦一丁目1番1号 1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058001, JP
発明者:
坂本 渉 SAKAMOTO, Wataru; JP
中木 寛 NAKAKI, Hiroshi; JP
石原 英恵 ISHIHARA, Hanae; JP
代理人:
日向寺 雅彦 HYUGAJI, Masahiko; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 半導体装置およびその製造方法
要約:
(EN) The semiconductor device according to an embodiment includes a laminate, a first insulating layer, first and second step parts 2, and a second insulating layer 46. The laminate includes a first electrode layer 41 (WLDD) and a second electrode layer 41 (SGD). The first and second step parts 2 are provided to a first end-section region 101 and a second end-section region 102. The second insulating layer 46 extends in the X-direction. The second insulating layer divides the second electrode layer 41 (SGD) along the X-direction. The length L1 of the second insulating layer 46 along the X-direction is greater than the length L2 of the second electrode layer 41 (SGD) along the X-direction and less than the length L3 of the first electrode layer 41 (WLDD) along the X-direction.
(FR) Selon un mode de réalisation de la présente invention, un dispositif à semi-conducteur comprend un stratifié, une première couche isolante, des première et seconde parties gradins (2), et une seconde couche isolante (46). Le stratifié comprend une première couche d'électrode (41) (WLDD) et une seconde couche d'électrode (41) (SGD). Les première et seconde parties gradins (2) se trouvent sur une première région de section d'extrémité (101) et une seconde région de section d'extrémité (102). La seconde couche isolante (46) s'étend dans la direction X et divise la seconde couche d'électrode (41) (SGD) le long de la direction X. La longueur L1 de la seconde couche isolante (46) le long de la direction X est supérieure à la longueur L2 de la seconde couche d'électrode (41) (SGD) le long de la direction X et inférieure à la longueur L3 de la première couche d'électrode (41) (WLDD) le long de la direction X.
(JA) 実施形態の半導体装置は、積層体と、第1絶縁層と、第1、第2階段部2と、第2絶縁層46とを含む。積層体は、第1電極層41(WLDD)と、第2電極層41(SGD)とを含む。第1、第2階段部2は、第1端部領域101と、第2端部領域102とに設けられる。第2絶縁層46は、X方向に延びる。第2絶縁層は、第2電極層41(SGD)をX方向に沿って分離する。第2絶縁層46のX方向に沿った長さL1は、第2電極層41(SGD)のX方向に沿った長さL2よりも長く、第1電極層41(WLDD)のX方向に沿った長さL3よりも短い。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)