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1. (WO2018052135) メタルマスク用素材およびその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/052135    International Application No.:    PCT/JP2017/033540
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Sep 16 01:59:59 CEST 2017
IPC: C21C 7/00
C22B 9/04
C22B 9/20
C22C 38/00
C22C 38/08
Applicants: HITACHI METALS,LTD.
日立金属株式会社
Inventors: OMORI, Akihiro
大森 章博
HADANO, Yuuichi
羽田野 雄一
Title: メタルマスク用素材およびその製造方法
Abstract:
本発明は、酸化物系非金属介在物が微細であり、個数も非常に少ない、優れたエッチング加工性を発揮することが可能なメタルマスク用素材を提供することを目的とする。 質量%で、C:0.01%以下、Si:0.5%以下、Mn:1.0%以下、Ni:30~50%を含有し、残部がFe及び不可避的不純物からなる組成を有するメタルマスク用素材であって、前記メタルマスク用素材1g当たりにおける、直径10.0μmを超える酸化物系非金属介在物が2.0個以下であり、直径が6.0~10.0μmである酸化物系非金属介在物の個数が20.0個以下であり、板厚0.25mm以下の薄板形状である、メタルマスク用素材およびその製造方法。