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1. (WO2018052083) 電子顕微鏡装置及びそれを用いた傾斜ホールの測定方法

Pub. No.:    WO/2018/052083    International Application No.:    PCT/JP2017/033260
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Sep 15 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/244
H01J 37/147
H01J 37/22
H01J 37/28
H01L 21/66
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: TAKAGI Yuji
高木 裕治
FUKUNAGA Fumihiko
福永 文彦
GOTO Yasunori
後藤 泰範
Title: 電子顕微鏡装置及びそれを用いた傾斜ホールの測定方法
Abstract:
半導体パターンのホールのボトムの輪郭が試料表面で遮蔽された場合であっても正しい傾斜状態を電子顕微鏡装置で測定できるようにする。電子顕微鏡装置を、相対的に低いエネルギーの電子を検出する高仰角に配置した第1検出手段と、及び相対的に高いエネルギーの電子を検出する低仰角に配置した第2検出手段と、第1の検出器より得た第1画像より、予め設定された領域内で半導体パターンのホール領域を特定する手段と、第2の検出器より得た第2画像で、ホール領域の外周と、外周からホール中心方向に検出した穴底までの距離に基づいて傾斜方位、及び傾斜角に関する指標をホール個別に算出する手段と、計測対象画像に含まれるホール個別に測定した結果から、計測対象画像の代表値としての穴の傾斜方位、及び穴の傾斜角に関する指標を算出する手段とを備えて構成する。