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1. (WO2018051921) 基板搬送ハンド、基板搬送ロボット、及び基板移載装置
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国際公開番号: WO/2018/051921 国際出願番号: PCT/JP2017/032527
国際公開日: 22.03.2018 国際出願日: 08.09.2017
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
49
他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05
もろい,または損傷性材料または物品用のもの
07
半導体ウェハーのためのもの
出願人:
川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
発明者:
橋本 康彦 HASHIMOTO, Yasuhiko; --
吉田 哲也 YOSHIDA, Tetsuya; --
代理人:
特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
優先権情報:
2016-17894513.09.2016JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE TRANSPORT HAND, SUBSTRATE TRANSPORT ROBOT, AND SUBSTRATE TRANSFER DEVICE
(FR) MAIN DE TRANSPORT DE SUBSTRAT, ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送ハンド、基板搬送ロボット、及び基板移載装置
要約:
(EN) A substrate transport hand is provided with a base portion linked with a robot arm, and a substrate holding unit which is linked with the base portion and holds a substrate. The substrate transport hand, as viewed from a substrate perpendicular direction that is a direction vertically penetrating the substrate being held by the substrate holding unit, is bent at or in the vicinity of a link portion of the base portion and the substrate holding unit, such that the base portion and the substrate holding unit as a whole have a V-shape.
(FR) La présente invention concerne une main de transport de substrat qui est pourvue d'une partie de base reliée à un bras de robot, et d'une unité de maintien de substrat qui est reliée à la partie de base et maintient un substrat. La main de transport de substrat, observée depuis une direction perpendiculaire au substrat qui est une direction pénétrant verticalement dans le substrat maintenu par l'unité de maintien de substrat, est pliée au niveau ou à proximité d'une partie de liaison de la partie de base et de l'unité de maintien de substrat, de telle sorte que la partie de base et l'unité de maintien de substrat dans leur ensemble ont une forme en V.
(JA) 基板搬送ハンドは、ロボットアームと連結される基部と、基部と結合され、基板を保持する基板保持部とを備える。この基板搬送ハンドは、基板保持部に保持される基板を垂直に貫く方向である基板垂線方向から見て、基部と基板保持部との結合部又はその近傍において折れ曲がって、基部及び基板保持部が全体としてV字形状を呈する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)