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1. (WO2018051860) 電界効果トランジスタの製造方法および無線通信装置の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/051860    International Application No.:    PCT/JP2017/032066
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Sep 07 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/336
H01L 29/786
H01L 51/05
H01L 51/30
Applicants: TORAY INDUSTRIES, INC.
東レ株式会社
Inventors: SHIMIZU, Hiroji
清水浩二
MURASE, Seiichiro
村瀬清一郎
KAWAI, Shota
河井翔太
Title: 電界効果トランジスタの製造方法および無線通信装置の製造方法
Abstract:
基板の表面上にゲート電極を形成する工程と、前記ゲート電極上にゲート絶縁層を形成する工程と、前記ゲート絶縁層上に導電体と感光性有機成分とを含有する導電膜を塗布法により形成する工程と、前記基板の裏面側から前記ゲート電極をマスクとして前記導電膜を露光する工程と、露光された導電膜を現像してソース電極およびドレイン電極を形成する工程と、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に半導体層を塗布法により形成する工程と、を含む電界効果型トランジスタの製造方法であり、これにより、簡便なプロセスで作製することが可能で、移動度が高く、ゲート電極とソース・ドレイン電極が高精度に位置合わせされたFET、半導体装置、RFIDを提供することができる。