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1. (WO2018051800) 圧電振動デバイス

Pub. No.:    WO/2018/051800    International Application No.:    PCT/JP2017/031364
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: H03H 9/02
Applicants: DAISHINKU CORPORATION
株式会社大真空
Inventors: ISHINO, Satoru
石野 悟
Title: 圧電振動デバイス
Abstract:
水晶振動子(101)は、第1励振電極および第2励振電極が形成された圧電振動板(2)と、圧電振動板(2)の第1励振電極を覆う第1封止部材(3)と、圧電振動板(2)の第2励振電極を覆う第2封止部材(4)とが設けられ、第1封止部材(3)と圧電振動板(2)とが接合され、第2封止部材(4)と圧電振動板(2)とが接合されて、第1励振電極と第2励振電極とを含む圧電振動板(2)の振動部を気密封止した内部空間(13)が形成される。第1封止部材(3)および第2封止部材(4)の両方に、圧電振動板(2)との接合面と反対側の面にめっき膜(51,52)が形成される。