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1. (WO2018051760) 圧力センサ

Pub. No.:    WO/2018/051760    International Application No.:    PCT/JP2017/030396
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Aug 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01L 5/00
Applicants: NISSHA CO., LTD.
NISSHA株式会社
Inventors: NADA, Hideaki
灘 秀明
MORITA, Jumpei
森田 淳平
Title: 圧力センサ
Abstract:
【課題】 互いに隙間を空けて配置された電極を有する圧力検出センサにおいて、正確に測定できる圧力測定範囲を広くする。 【解決手段】 圧力センサ1は、共通電極9と、複数の個別電極31と、複数の薄膜トランジスタ30と、感圧層11とを備えている。共通電極9は、一面に広がって形成されている。複数の個別電極31は、共通電極9に対向してマトリクス状に設けられている。複数の薄膜トランジスタ30は、複数の個別電極31に対応して複数の個別電極31の共通電極9と反対側に設けられ、1又は隣接する2以上が1つの個別電極31に接続されている。感圧層11は、共通電極9の複数の個別電極31側の面に積層されている。複数の個別電極31は、第1電極31Xと、第1電極31Xより厚くそのため感圧層11との隙間が第1電極31Xより短い第2電極31Yとを含んでいる。