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1. (WO2018051689) 露光装置および物品製造方法

Pub. No.:    WO/2018/051689    International Application No.:    PCT/JP2017/028946
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Aug 10 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA
キヤノン株式会社
Inventors: SUGITA, Hikaru
杉田 光
HOMMA Masato
本間 将人
Title: 露光装置および物品製造方法
Abstract:
原版および投影光学系(1)を介して基板Wを露光する露光装置は、互いに対向する前記投影光学系と基板Wとの間の空間において、前記投影光学系の光軸を横切るように気体を供給する整流機構(3)を有し、前記整流機構は、前記空間において光軸を横切る気体が、第1位置より前記投影光学系から遠い第2位置での流速(V2)が第1位置での流速(V1)より大きい流速分布を有するように、気体を供給し、前記整流機構は、気体の流路を、第1位置へ流れる気体の第1流路と、第2位置へ流れる気体の第2流路と、に分岐させて流速分布を形成する第1整流部材(302)を含む。