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1. (WO2018051643) 搬送条件設定装置、基板処理装置、および搬送条件設定方法
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国際公開番号: WO/2018/051643 国際出願番号: PCT/JP2017/027024
国際公開日: 22.03.2018 国際出願日: 26.07.2017
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
出願人:
株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1ー1 Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
発明者:
矢野 航 YANO Wataru; JP
橋詰 彰夫 HASHIZUME Akio; JP
代理人:
吉竹 英俊 YOSHITAKE Hidetoshi; JP
有田 貴弘 ARITA Takahiro; JP
優先権情報:
2016-18017315.09.2016JP
発明の名称: (EN) TRANSFER CONDITION SETTING DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, AND TRANSFER CONDITION SETTING METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE CONDITIONS DE TRANSFERT, ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 搬送条件設定装置、基板処理装置、および搬送条件設定方法
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to suppress degradation of a transfer robot arm. In order to achieve the purpose, a transfer condition setting device is provided with: a process time acquisition unit which acquires the throughput of a substrate processing device on the basis of a recipe time for the substrate processing device; and a transfer speed setting unit which, on the basis of the acquired throughput and a preset correspondence between a transfer capacity corresponding to a predetermined number of hands and the throughput, determines a transfer speed corresponding to the number of hands. When a maximum transfer capacity corresponding to the number of hands has a margin with respect to the acquired throughput, the transfer speed setting unit determines a transfer speed corresponding to a transfer capacity lower than the maximum transfer capacity.
(FR) La présente invention vise à supprimer la dégradation d'un bras de robot de transfert et concerne un dispositif de réglage de conditions de transfert pourvu : d'une unité d'acquisition de temps de traitement qui acquiert le débit d'un dispositif de traitement de substrat sur la base d'un temps de recette du dispositif de traitement de substrat ; et d'une unité de réglage de vitesse de transfert qui détermine, sur la base du débit acquis et d'une correspondance prédéfinie entre une capacité de transfert correspondant à un nombre de mains prédéterminé et le débit, une vitesse de transfert correspondant au nombre de mains. Lorsqu'une capacité de transfert maximale correspondant au nombre de mains présente une marge par rapport au débit acquis, l'unité de réglage de vitesse de transfert détermine une vitesse de transfert correspondant à une capacité de transfert inférieure à la capacité de transfert maximale.
(JA) 搬送ロボットのアームの劣化を抑制することを目的とする。該目的を達成するために搬送条件設定装置は、基板処理装置のレシピ時間に基づいて当該基板処理装置のスループットを取得するプロセス時間取得部と、取得されたスループットと、所定のハンド数に対応する搬送能力とスループットとの予め設定された対応関係とに基づいて、当該ハンド数に対応した搬送速度を決定する搬送速度設定部と、を備え、搬送速度設定部は、取得されたスループットに対して当該ハンド数に対応する最大搬送能力に余裕がある場合に、最大搬送能力よりも低い搬送能力に対応する搬送速度を決定する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)