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1. (WO2018051642) 照明装置、露光装置及び物品の製造方法
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国際公開番号: WO/2018/051642 国際出願番号: PCT/JP2017/027008
国際公開日: 22.03.2018 国際出願日: 26.07.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G02B 3/00 (2006.01) ,G02B 19/00 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
3
単レンズまたは複合レンズ
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
19
コンデンサー
出願人:
キヤノン株式会社 CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501, JP
発明者:
寺師 孝昭 TERASHI, Takaaki; JP
代理人:
大塚 康徳 OHTSUKA, Yasunori; JP
大塚 康弘 OHTSUKA, Yasuhiro; JP
高柳 司郎 TAKAYANAGI, Jiro; JP
木村 秀二 KIMURA, Shuji; JP
優先権情報:
2016-17902313.09.2016JP
発明の名称: (EN) LIGHTING DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING ARTICLE
(FR) DISPOSITIF D'ÉCLAIRAGE, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ARTICLE
(JA) 照明装置、露光装置及び物品の製造方法
要約:
(EN) Provided is a lighting device for lighting a surface to be lit with light from a light source, wherein the lighting device is characterized by comprising: an optical system forming, on a surface optically conjugate to the surface to be lit, a rectangular lighting region that has a longitudinal direction along a first direction and has a transverse direction along a second direction orthogonal to the first direction; and a light shielding plate which is arranged on the surface optically conjugate to the surface to be lit and to which an arcuate opening is provided. The lighting device is further characterized in that: the optical system comprises a first integrator and second integrator that are arranged so as to be replaceable on an optical path of the light and form the lighting region which covers the arcuate opening; the first integrator forms a first lighting region that has a first length in the first direction and has a second length in the second direction; and the second integrator forms a second lighting region that has a third length shorter than the first length in the first direction and a fourth length shorter than the second length in the second direction, such that a convex-side edge of the arcuate opening, of the edge of the first lighting region along the first direction, and a convex-side edge of the arcuate opening, of the edge of the second lighting region along the first direction, coincide.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'éclairage permettant d'éclairer une surface à éclairer à l'aide de la lumière provenant d'une source de lumière, le dispositif d'éclairage étant caractérisé en ce qu'il comprend : un système optique formant, sur une surface conjuguée optiquement à la surface à éclairer, une région d'éclairage rectangulaire qui a une direction longitudinale le long d'une première direction et a une direction transversale le long d'une seconde direction orthogonale à la première direction ; et une plaque de protection contre la lumière qui est disposée sur la surface conjuguée optiquement à la surface à éclairer et sur laquelle est disposée une ouverture arquée. Le dispositif d'éclairage est en outre caractérisé en ce que : le système optique comprend un premier intégrateur et un second intégrateur qui sont disposés de manière à pouvoir être remplacés sur un trajet optique de la lumière et à former la région d'éclairage qui recouvre l'ouverture arquée ; le premier intégrateur forme une première région d'éclairage qui a une première longueur dans la première direction et a une deuxième longueur dans la seconde direction ; et le second intégrateur forme une seconde région d'éclairage qui a une troisième longueur plus courte que la première longueur dans la première direction et une quatrième longueur plus courte que la deuxième longueur dans la seconde direction, de sorte qu'un bord côté convexe de l'ouverture arquée, du bord de la première région d'éclairage le long de la première direction, et un bord côté convexe de l'ouverture arquée, du bord de la seconde région d'éclairage le long de la première direction, coïncident.
(JA) 光源からの光で被照明面を照明する照明装置であって、前記被照明面と光学的に共役な面に、第1方向に沿って長手方向を有し、前記第1方向に直交する第2方向に沿って短手方向を有する矩形状の照明領域を形成する光学系と、前記被照明面と光学的に共役な面に配置され、円弧状の開口が設けられた遮光板と、を有し、前記光学系は、前記光の光路に交換可能に配置され、前記円弧状の開口をカバーする前記照明領域を形成する第1インテグレータ及び第2インテグレータを含み、前記第1インテグレータは、前記第1方向に第1長さを有し、前記第2方向に第2長さを有する第1照明領域を形成し、前記第2インテグレータは、前記第1方向に前記第1長さより短い第3長さを有し、前記第2方向に前記第2長さより短い第4長さを有する第2照明領域を、前記第1照明領域の前記第1方向に沿った辺のうちの前記円弧状の開口の凸側の辺と前記第2照明領域の前記第1方向に沿った辺のうちの前記円弧状の開口の凸側の辺とが一致するように形成することを特徴とする照明装置を提供する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)