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1. (WO2018051447) 整合器

Pub. No.:    WO/2018/051447    International Application No.:    PCT/JP2016/077211
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Sep 16 01:59:59 CEST 2016
IPC: H05H 1/46
H03H 7/38
Applicants: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.
株式会社日立国際電気
Inventors: TAKAHASHI NAOTO
高橋 直人
OSHIDA YOSHIYUKI
押田 善之
KATO NORIKAZU
加藤 規一
Title: 整合器
Abstract:
整合器は、方向性結合器と、第1の可変容量コンデンサと第2の可変容量コンデンサとを有する整合回路と、制御部と、基準とする整合器の第3の可変容量コンデンサおよび第4の可変容量コンデンサの容量値の設定値と前記設定値が設定されたときの前記基準とする整合器のインピーダンスとに基づいて求めた前記第1の可変容量コンデンサの容量値および前記第2の可変容量コンデンサの容量値の補正設定値を格納する記憶部と、を備える。前記制御部は、前記第1の可変容量コンデンサの容量値および前記第2の可変容量コンデンサの容量値の設定値を前記記憶部の前記第1の可変容量コンデンサの容量値および前記第2の可変容量コンデンサの容量値の補正設定値に基づいて補正する。 [代表図]図1