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1. (WO2018047978) 強磁性材スパッタリングターゲット
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/047978    国際出願番号:    PCT/JP2017/032932
国際公開日: 15.03.2018 国際出願日: 12.09.2017
IPC:
C23C 14/34 (2006.01)
出願人: JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION [JP/JP]; 1-2,Otemachi 1-chome,Chiyoda-ku, Tokyo 1008164 (JP)
発明者: SATO,Atsushi; (JP)
代理人: AXIS PATENT INTERNATIONAL; Shimbashi i-mark Bldg., 6-2 Shimbashi 2-Chome, Minato-ku, Tokyo 1050004 (JP)
優先権情報:
2016-178008 12.09.2016 JP
発明の名称: (EN) FERROMAGNETIC MATERIAL SPUTTERING TARGET
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE EN MATÉRIAU FERROMAGNÉTIQUE
(JA) 強磁性材スパッタリングターゲット
要約: front page image
(EN)Provided is a BN-containing ferromagnetic material sputtering target which is capable of suppressing the formation of particles during a sputtering process. A sputtering target which contains 1-40 at% of B and 1-30 at% of N, while having a structure that has a metal phase containing a ferromagnetic metal and a non-magnetic material phase. The X-ray diffraction profile as obtained by analyzing the structure by means of an X-ray diffraction method has a diffraction peak that is ascribed to cubic boron nitride.
(FR)Cette invention concerne une cible de pulvérisation cathodique en matériau ferromagnétique contenant du BN qui est capable de supprimer la formation de particules pendant un processus de pulvérisation. Plus précisément, l'invention concerne une cible de pulvérisation cathodique qui contient de 1 à 40 % at. de B et de 1 à 30 % at. de N, tout en ayant une structure qui a une phase métallique contenant un métal ferromagnétique et une phase de matériau non magnétique. Le profil de diffraction des rayons X tel qu'obtenu par analyse de la structure au moyen d'un procédé d'analyse par diffraction des rayons X a un pic de diffraction qui est attribué au nitrure de bore cubique.
(JA)スパッタリング時におけるパーティクルの発生を抑制可能なBN含有強磁性材スパッタリングターゲットを提供する。Bを1~40at.%、Nを1~30at.%含有し、強磁性金属を含有する金属相と非磁性材料相とを有する組織を備えたスパッタリングターゲットであって、当該組織をX線回折法により分析することにより得たX線回折プロファイルが立方晶窒化ホウ素由来の回折ピークを有するスパッタリングターゲット。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)