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1. (WO2018047908) 基板ホルダ、めっき装置、基板ホルダの製造方法、及び基板を保持する方法
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国際公開番号: WO/2018/047908 国際出願番号: PCT/JP2017/032292
国際公開日: 15.03.2018 国際出願日: 07.09.2017
IPC:
C25D 17/08 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
C 化学;冶金
25
電気分解または電気泳動方法;そのための装置
D
電気分解または電気泳動による被覆方法;電鋳;電気分解による加工品の接合;そのための装置
17
電解被覆用槽の構造部品またはその組立体
06
被覆物品の懸垂または支持装置
08
ラック
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
出願人:
株式会社荏原製作所 EBARA CORPORATION [JP/JP]; 東京都大田区羽田旭町11番1号 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510, JP
発明者:
宮本 松太郎 MIYAMOTO, Matsutaro; JP
向山 佳孝 MUKAIYAMA, Yoshitaka; JP
代理人:
小野 新次郎 ONO, Shinjiro; JP
宮前 徹 MIYAMAE, Toru; JP
鐘ヶ江 幸男 KANEGAE, Yukio; JP
渡邊 誠 WATANABE, Makoto; JP
優先権情報:
2016-17578508.09.2016JP
2016-19100329.09.2016JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE HOLDER, PLATING DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SUBSTRATE HOLDER, AND DEVICE FOR HOLDING SUBSTRATE
(FR) SUPPORT DE SUBSTRAT, DISPOSITIF DE PLACAGE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUPPORT DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE MAINTIEN DE SUBSTRAT
(JA) 基板ホルダ、めっき装置、基板ホルダの製造方法、及び基板を保持する方法
要約:
(EN) This substrate holder is provided with first and second holding members which clamp and fix a substrate. The substrate holder is configured such that: the first holding member has a first holding member body and a clamp which is disposed on the first holding member body and which can be rotated around an axis parallel to the surface of the first holding member body or can be reciprocated in a direction crossing the surface of the first holding member body; the second holding member has a second holding member body; the clamp is engaged with the second holding member while the first holding member body and the second holding member body are in contact with each other; and the second holding member can be fixed to the first holding member.
(FR) L'invention concerne un support de substrat, pourvu d'un premier et d'un deuxième élément de maintien qui serrent et fixent un substrat. Le support de substrat est conçu de telle sorte que : le premier élément de maintien présente un premier corps d'élément de maintien et une pince qui est disposée sur le premier corps d'élément de maintien et qui peut tourner autour d'un axe parallèle à la surface du premier corps d'élément de maintien ou qui peut être animée d'un mouvement de va-et-vient dans une direction croisant la surface du premier corps d'élément de maintien ; le deuxième élément de maintien présente un deuxième corps d'élément de maintien ; la pince est en prise avec le deuxième élément de maintien tandis que le premier corps d'élément de maintien et le deuxième corps d'élément de maintien sont en contact l'un avec l'autre ; et le deuxième élément de maintien peut être fixé au premier élément de maintien.
(JA) 基板を挟持して固定する第1及び第2保持部材を備え、前記第1保持部材は、第1保持部材本体と、前記第1保持部材本体に設けられ、前記第1保持部材本体の面に平行な軸の周りを回転可能な又は前記第1保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能なクランプと、を有し、前記第2保持部材は、第2保持部材本体を有し、前記クランプは、前記第1保持部材本体及び前記第2保持部材本体が互いに当接した状態で前記第2保持部材に係合し、前記第2保持部材を前記第1保持部材に固定可能に構成されている、基板ホルダ。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)