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1. (WO2018047626) 圧力センサ
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国際公開番号: WO/2018/047626 国際出願番号: PCT/JP2017/030222
国際公開日: 15.03.2018 国際出願日: 24.08.2017
IPC:
G01L 19/06 (2006.01) ,G01L 9/00 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
L
力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
19
流動体の定常圧または準定常圧測定装置の細部または付属品であって,特定形式の圧力計に限定されないもの
06
過負荷または被測定体が測定装置におよぼすあるいはその逆におよぼす悪影響を防止する手段
G 物理学
01
測定;試験
L
力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
9
電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示
出願人:
株式会社デンソー DENSO CORPORATION [JP/JP]; 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 1-1, Showa-cho, Kariya-city Aichi 4488661, JP
発明者:
川野 晋司 KAWANO Shinji; JP
馬渡 和明 MAWATARI Kazuaki; JP
代理人:
金 順姫 JIN Shunji; JP
優先権情報:
2016-17392106.09.2016JP
発明の名称: (EN) PRESSURE SENSOR
(FR) DÉTECTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
要約:
(EN) The pressure sensor according to the present invention detects the pressure of a pressure medium. The pressure sensor is provided with a sensor substrate (10) and a protective film (30). The sensor substrate has a recess (11) depressed relative to the periphery thereof, and a thin-walled part (12) having a smaller wall thickness than the periphery due to formation of the recess. The protective film is provided to at least a portion of a side surface (13) of the recess and to a bottom surface (14) of the recess, the bottom surface (14) being one surface of the thin-walled part, and the protective film suppresses adhesion of foreign matter included in the pressure medium. The recess in which the protective film is formed and the thin-walled part are disposed in the pressure medium, and the thin-walled part has the function of detecting the pressure of the pressure medium. Furthermore, the pressure sensor is provided with an adhesion prevention part (13a) exhibiting a lotus effect in a state in which a liquid repellent film having liquid repellent properties with respect to a liquid of the pressure medium is provided as the protective film on an irregularity provided to at least a portion of the side surface. Through this pressure sensor, a reduction in the precision of pressure detection can be suppressed.
(FR) La présente invention concerne un capteur de pression qui détecte la pression d'un milieu de pression. Le capteur de pression est pourvu d'un substrat de capteur (10) et d'un film de protection (30). Le substrat de capteur possède un évidement (11) enfoncé par rapport à sa périphérie, et une partie à paroi mince (12) qui présente une épaisseur de paroi plus petite que la périphérie en raison de la formation de l'évidement. Le film protecteur est prévu sur au moins une partie d'une surface latérale (13) de l'évidement et sur une surface inférieure (14) de l'évidement, la surface inférieure (14) étant une surface de la partie à paroi mince, et le film de protection supprime l'adhérence de matière étrangère incluse dans le milieu de pression. L'évidement dans lequel le film de protection est formé et la partie à paroi mince sont disposés dans le milieu de pression, et la partie à paroi mince remplit la fonction de détection de la pression du milieu de pression. En outre, le capteur de pression est pourvu d'une partie de prévention d'adhérence (13a) qui présente un effet lotus dans un état où un film répulsif de liquide, qui présente des propriétés répulsives de liquide par rapport à un liquide du milieu de pression, est prévu sous forme de film de protection sur une irrégularité prévue sur au moins une partie de la surface latérale. Grâce à ce capteur de pression, une réduction de la précision de détection de pression peut être supprimée.
(JA) 圧力センサは、圧力媒体の圧力を検出する。圧力センサは、センサ基板(10)と、保護膜(30)と、を備えている。センサ基板は、周辺よりも窪んだ凹部(11)と、前記凹部が形成されることで周辺よりも薄肉とされた薄肉部(12)と、を有する。保護膜は、前記凹部の側面(13)の少なくとも一部と、前記薄肉部の一面である前記凹部の底面(14)とに設けられ、前記圧力媒体に含まれる異物の付着を抑制する。前記保護膜が形成された前記凹部と前記薄肉部が前記圧力媒体中に配置され、前記薄肉部が前記圧力媒体の圧力を検出する機能を有している。さらに、圧力センサは、前記側面の少なくとも一部に設けられた凹凸に、前記保護膜として前記圧力媒体の液体に対する撥液性を有する撥液膜が設けられた状態でロータス効果を発揮する付着防止部(13a)を備えている。この圧力センサによれば、圧力の検出精度が低下することを抑制できる。
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アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)