このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2018047541) 基板収納容器及び気体置換ユニット
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/047541 国際出願番号: PCT/JP2017/028127
国際公開日: 15.03.2018 国際出願日: 02.08.2017
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/30 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
D
物品または材料の保管または輸送用の容器,例.袋,樽,瓶,箱,缶,カートン,クレート,ドラム缶,つぼ,タンク,ホッパー,運送コンテナ;付属品,閉蓋具,またはその取付け;包装要素;包装体
85
特定の物品または材料に特に適合する容器,包装要素または包装体
30
衝撃または圧力による損傷に特に鋭敏な物品用
出願人:
信越ポリマー株式会社 SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区神田須田町一丁目9番地 9, Kandasuda-cho 1chome, Chiyoda-ku Tokyo 1010041, JP
発明者:
小川 統 OGAWA Osamu; JP
代理人:
坂本 智弘 SAKAMOTO Tomohiro; JP
優先権情報:
2016-17402306.09.2016JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER AND GAS SUBSTITUTION UNIT
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT ET UNITÉ DE SUBSTITUTION DE GAZ
(JA) 基板収納容器及び気体置換ユニット
要約:
(EN) Provided are a substrate storage container and a gas substitution unit which are configured such that a variation in humidity or concentration in an inner space is small even if the storage condition of a substrate changes. This substrate storage container 1 comprises: a container body 2 capable of storing a substrate W; a gas supply valve 50 for supplying gas G into an internal space from the outside of the container body 2; and a gas substitution unit 3R, 3L for discharging the gas G, which is supplied from the gas supply valve 50, into the internal space of the container body 2. The container body 2 is formed as a front open box, and the gas supply valve 50 is mounted on the rear part B of a bottom surface 2f. The gas substitution unit 3R, 3L includes a housing member 31 and a cover member 32 for covering the opening of the housing member 31. The housing member 31 has a plurality of first discharge holes 31a... 31z for discharging stored gas G in the front surface direction F of the container body 2. The cover member 32 has second discharge holes 32a... 32f for discharging in the rearward direction opposite the direction of discharge from the first discharge holes 31a... 31z.
(FR) L'invention concerne un récipient de stockage de substrat et une unité de substitution de gaz qui sont configurés de telle sorte qu'une variation d'humidité ou de concentration dans un espace interne est faible même si l'état de stockage d'un substrat change. Ce récipient de stockage de substrat 1 comprend : un corps de récipient 2 apte à stocker un substrat W ; une vanne d'alimentation en gaz 50 pour fournir du gaz G dans un espace interne depuis l'extérieur du corps de récipient 2 ; et une unité de substitution de gaz 3R, 3L pour évacuer le gaz G, qui est fourni à partir de la vanne d'alimentation en gaz 50, dans l'espace interne du corps de récipient 2. Le corps de récipient 2 est formé en tant que boîte ouverte avant, et la vanne d'alimentation en gaz 50 est montée sur la partie arrière B d'une surface inférieure 2f. L'unité de substitution de gaz 3R, 3L comprend un élément de logement 31 et un élément de couvercle 32 pour recouvrir l'ouverture de l'élément de logement 31. L'élément de logement 31 a une pluralité de premiers trous d'évacuation 31a... 31z pour évacuer le gaz G stocké dans la direction de surface avant F du corps de récipient 2. L'élément de couvercle 32 a des seconds trous d'évacuation 32a... 32f pour évacuer dans la direction arrière opposée à la direction d'évacuation à partir des premiers trous d'évacuation 31a... 31z.
(JA) 基板の収納状態が変化しても、内部空間で湿度又は濃度のバラツキが小さい基板収納容器及び気体置換ユニットを提供すること。基板Wを収納可能な容器本体2と、容器本体2の外部から内部空間に気体Gを供給する給気弁50と、給気弁50から供給された気体Gを容器本体2の内部空間に吹出す気体置換ユニット3R,3Lと、を備え、容器本体2をフロントオープンボックスに形成し、底面2fの後方Bに給気弁50を取付けた基板収納容器1であって、気体置換ユニット3R,3Lは、ハウジング部材31と、ハウジング部材31の開口を覆うカバー部材32と、を含み、ハウジング部材31は、貯留された気体Gを容器本体2の正面F方向に吹出す複数の第1吹出孔31a・・・31zを有し、カバー部材32は、第1吹出孔31a・・・31zの吹出方向と反対の後方方向に吹出す第2吹出孔32a・・・32fを有すること。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)