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1. (WO2018047241) 大気圧プラズマニードル発生装置及び大気圧プラズマニードルを用いた半導体集積回路パッケージの開封装置及び方法。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/047241    国際出願番号:    PCT/JP2016/076210
国際公開日: 15.03.2018 国際出願日: 06.09.2016
IPC:
H05H 1/30 (2006.01), H01L 21/56 (2006.01)
出願人: NIPPON SCIENTIFIC CO., LTD. [JP/JP]; 2-22-3, Singashi, Itabashi-ku, Tokyo 1750081 (JP).
PLASMA APPLICATIONS CO., LTD. [JP/JP]; 12-30 Ohitomi-cho, Nishi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4311112 (JP)
発明者: KANDO Masashi; (JP).
SAKITA Yasutoshi; (JP)
代理人: TAKAHASHI, HAYASHI AND PARTNER PATENT ATTORNEYS, INC.; Sonpo Japan Kamata Building 9F, 5-24-2 Kamata, Ota-ku, Tokyo 1440052 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA NEEDLE GENERATING DEVICE, AND DEVICE AND METHOD FOR UNSEALING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT PACKAGE USING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA NEEDLE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'AIGUILLE À PLASMA À PRESSION ATMOSPHÉRIQUE, ET DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'OUVERTURE D'UN BOÎTIER DE CIRCUIT INTÉGRÉ À SEMI-CONDUCTEUR À L'AIDE D'UNE AIGUILLE À PLASMA À PRESSION ATMOSPHÉRIQUE
(JA) 大気圧プラズマニードル発生装置及び大気圧プラズマニードルを用いた半導体集積回路パッケージの開封装置及び方法。
要約: front page image
(EN)[Problem] To provide an atmospheric pressure plasma needle generating device and a method for unsealing a semiconductor integrated circuit package using the atmospheric pressure plasma needle. [Solution] Provided is an atmospheric pressure plasma needle generating device that is provided with: a tube-shaped insulator for which gas is introduced to the interior from a gas introduction unit, having an opening at one end; a tube-shaped external conductor placed on the outside of the tube-shaped insulator; and an internal conductor placed inside the tube-shaped insulator, having a tip part covered by the external conductor. Using the microwaves propagated with the insulator, the internal conductor, and the external conductor as waveguides and the gas introduced from the gas introduction unit, the atmospheric pressure plasma needle generating device generates a filament-form plasma needle between the tip part of the internal conductor and the opening of the tube-shaped insulator.
(FR)Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif de génération d'aiguille à plasma à pression atmosphérique et un procédé d'ouverture d'un boîtier de circuit intégré à semi-conducteur à l'aide de l'aiguille à plasma à pression atmosphérique. La solution selon l'invention porte sur un dispositif de génération d'aiguille à plasma à pression atmosphérique qui est pourvu : d'un isolant en forme de tube à l'intérieur duquel est introduit du gaz à partir d'une unité d'introduction de gaz, ayant une ouverture à une extrémité ; d'un conducteur externe en forme de tube placé à l'extérieur de l'isolant en forme de tube ; et d'un conducteur interne placé à l'intérieur de l'isolant en forme de tube, ayant une partie de pointe recouverte par le conducteur externe. En utilisant les micro-ondes propagées avec l'isolant, le conducteur interne et le conducteur externe en tant que guides d'ondes et le gaz introduit à partir de l'unité d'introduction de gaz, le dispositif de génération d'aiguille à plasma à pression atmosphérique génère une aiguille à plasma en forme de filament entre la partie de pointe du conducteur interne et l'ouverture de l'isolant en forme de tube.
(JA)【課題】大気圧プラズマニードル発生装置及び大気圧プラズマニードルを用いた半導体集積回路パッケージの開封方法を提供する。 【解決手段】 ガス導入部から内部にガスが導入され、一端に開口部を有するチューブ形状の絶縁体と、チューブ形状の絶縁体の外側に配置されるチューブ形状の外部導体と、チューブ形状の絶縁体の内側に配置され、外部導体に覆われた先端部を有する内部導体と、を備え、前記絶縁体、前記内部導体、及び前記外部導体を導波路として伝搬するマイクロ波及びガス導入部から導入されるガスを用いて内部導体の先端部とチューブ形状の絶縁体の開口部との間にフィラメント状のプラズマニードルを発生させる大気圧プラズマニードル発生装置を提供する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)