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1. (WO2018043709) 加速器、加速器の運転方法および加速器を用いた半導体の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/043709    国際出願番号:    PCT/JP2017/031582
国際公開日: 08.03.2018 国際出願日: 01.09.2017
IPC:
H05H 7/18 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H05H 9/00 (2006.01), H05H 13/04 (2006.01)
出願人: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA [JP/JP]; 1-1, Shibaura 1-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1058001 (JP).
TOSHIBA ENERGY SYSTEMS & SOLUTIONS CORPORATION [JP/JP]; 72-34, Horikawa-Cho, Saiwai-Ku, Kawasaki-Shi, Kanagawa 2120013 (JP)
発明者: KAWASAKI, Taisuke; (JP).
MATSUMIYA, Hiroshi; (JP).
MIYADERA, Haruo; (JP).
MIYAMOTO, Atsushi; (JP)
代理人: TOKYO INTERNATIONAL PATENT FIRM; 2nd Floor, Miyata Building, 17-16, Nishi-Shimbashi 1-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2016-171452 02.09.2016 JP
発明の名称: (EN) ACCELERATOR, ACCELERATOR OPERATION METHOD, AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION METHOD USING ACCELERATOR
(FR) ACCÉLÉRATEUR, PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'ACCÉLÉRATEUR ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEUR À L'AIDE D'UN ACCÉLÉRATEUR
(JA) 加速器、加速器の運転方法および加速器を用いた半導体の製造方法
要約: front page image
(EN)This accelerator (1) comprises: a radio-frequency cavity (2) wherethrough a charged particle beam (B) can pass; a radio-frequency wave source (3) for sending into the radio-frequency cavity (2) an electromagnetic wave at a fundamental frequency; a laser output unit (10) delivering a laser light (L); a target part (11) irradiated by the laser light (L) to generate a charged particle; a beam extraction unit (12) accelerating the charged particles in one direction to extract the charged particle beam (B); and an output control unit (15) performing control causing the charged particle beam (B) to be emitted toward the radio-frequency cavity (2) at specific timings among the timings corresponding to the periods from the fundamental frequency.
(FR)La présente invention concerne un accélérateur (1), lequel comprend : une cavité radiofréquence (2) à travers laquelle un faisceau de particules chargées (B) peut passer ; une source d'ondes radiofréquence (3) permettant d'envoyer dans la cavité radiofréquence (2) une onde électromagnétique à une fréquence fondamentale ; une unité de sortie laser (10) fournissant une lumière laser (L) ; une partie cible (11) irradiée par la lumière laser (L) en vue de générer une particule chargée ; une unité d'extraction de faisceau (12) accélérant les particules chargées dans une direction en vue d'extraire le faisceau de particules chargées (B) ; et une unité de commande de sortie (15) effectuant une commande amenant le faisceau de particules chargées (B) à être émis vers la cavité radiofréquence (2) à des moments spécifiques parmi les moments correspondant aux périodes à partir de la fréquence fondamentale.
(JA)加速器(1)は、荷電粒子ビーム(B)が通過可能な高周波空洞(2)と、基本周波数の電磁波を高周波空洞(2)に入力する高周波源(3)と、レーザ光(L)を出力するレーザ出力部(10)と、レーザ光(L)が照射されることで荷電粒子を発生させるターゲット部(11)と、荷電粒子を一方向に加速することで荷電粒子ビーム(B)を引き出すビーム引出部(12)と、基本周波数の周期に対応するタイミングのうちの特定のタイミングで荷電粒子ビーム(B)を高周波空洞(2)に向けて出力する制御を行う出力制御部(15)とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)