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1. (WO2018043516) 反射防止膜、光学素子および光学系
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国際公開番号: WO/2018/043516 国際出願番号: PCT/JP2017/031034
国際公開日: 08.03.2018 国際出願日: 29.08.2017
予備審査請求日: 20.04.2018
IPC:
G02B 1/115 (2015.01) ,B32B 9/00 (2006.01) ,B32B 15/04 (2006.01) ,C23C 14/06 (2006.01) ,G02B 15/20 (2006.01)
[IPC code unknown for G02B 1/115]
B 処理操作;運輸
32
積層体
B
積層体,すなわち平らなまたは平らでない形状,例.細胞状またはハニカム状,の層から組立てられた製品
9
本質的にグループ11/00~29/00に包含されない特殊な物質からなる積層体
B 処理操作;運輸
32
積層体
B
積層体,すなわち平らなまたは平らでない形状,例.細胞状またはハニカム状,の層から組立てられた製品
15
本質的に金属からなる積層体
04
層の主なまたは唯一の構成要素が金属からなり,特定物質の他の層に隣接したもの
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
06
被覆材料に特徴のあるもの
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
15
変倍のための手段をもつ対物レンズ
14
対物レンズの等価焦点距離を連続的に変化させるために像面に対する1個以上のレンズまたはレンズ群の軸方向移動によるもの
16
一つのレンズまたはレンズ群と,他のレンズまたはレンズ群と間での相互依存的な非線形な相対移動を伴うもの
20
対物レンズの焦点距離を変化させるために,さらに別の可動レンズまたはレンズ群を有するもの
出願人:
富士フイルム株式会社 FUJIFILM CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西麻布2丁目26番30号 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1068620, JP
発明者:
梅田 賢一 UMEDA, Kenichi; JP
中村 誠吾 NAKAMURA, Seigo; JP
板井 雄一郎 ITAI, Yuichiro; JP
安田 英紀 YASUDA, Hideki; JP
代理人:
特許業務法人太陽国際特許事務所 TAIYO, NAKAJIMA & KATO; 東京都新宿区新宿4丁目3番17号 3-17, Shinjuku 4-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022, JP
優先権情報:
2016-16890031.08.2016JP
発明の名称: (EN) ANTIREFLECTIVE FILM, OPTICAL ELEMENT, AND OPTICAL SYSTEM
(FR) FILM ANTIREFLET, ÉLÉMENT OPTIQUE, ET SYSTÈME OPTIQUE
(JA) 反射防止膜、光学素子および光学系
要約:
(EN) Provided is an antireflective film having high mechanical strength, high light transmittance, and high antireflective performance, an optical element provided with the antireflective film, and an optical system provided with the optical element. An antireflective film 1 obtained by layering an intermediate layer 3, a silver-containing metal layer 4 containing silver, and a dielectric layer 5 in this order on a substrate 2, an anchor region 7 including an oxide of an anchor metal being provided between the silver-containing metal layer 4 and the intermediate layer 3, a cap region 9 including an oxide of the anchor metal included in the anchor region 7 being provided between the silver-containing metal layer 4 and the dielectric layer 5, the crystal grain size calculated by X-ray diffraction measurement in the silver-containing metal layer 4 being less than 6.8 nm, and the anchor metal having a surface energy less than that of silver and greater than the surface energy of the layer of the intermediate layer 3 closest to the silver-containing metal layer 4.
(FR) L'invention concerne un film antireflet ayant une résistance mécanique élevée, une transmittance de lumière élevée, et une performance antireflet élevée, un élément optique pourvu du film antireflet, et un système optique pourvu de l'élément optique. Un film antireflet (1) est obtenu en stratifiant une couche intermédiaire (3), une couche métallique contenant de l'argent (4), et une couche diélectrique (5) dans cet ordre sur un substrat (2), une région d'ancrage (7) comprenant un oxyde d'un métal d'ancrage étant disposée entre la couche métallique contenant de l'argent (4) et la couche intermédiaire (3), une région d'encapsulation (9) comprenant un oxyde du métal d'ancrage présent dans la région d'ancrage (7) étant disposée entre la couche métallique contenant de l'argent (4) et la couche diélectrique (5), la taille des grains cristallins calculée par mesure par diffraction des rayons X dans la couche métallique contenant de l'argent (4) étant inférieure à 6,8 nm, et le métal d'ancrage ayant une énergie de surface inférieure à celle de l'argent et supérieure à l'énergie de surface de la couche de la couche intermédiaire (3) la plus proche de la couche métallique contenant de l'argent (4).
(JA) 機械強度が高く、光透過率が高く、かつ反射防止性能の高い反射防止膜、その反射防止膜を備えた光学素子、およびその光学素子を備えた光学系を提供する。 基材2上に、中間層3、銀を含有する銀含有金属層4、および誘電体層5がこの順に積層されてなり、銀含有金属層4と中間層3との間に、アンカー金属の酸化物を含むアンカー領域7を備え、銀含有金属層4と誘電体層5との間に、アンカー領域7に含まれるアンカー金属の酸化物を含むキャップ領域9を備え、銀含有金属層4における、X線回折測定により求められる結晶粒径が6.8nm未満であり、アンカー金属は、銀の表面エネルギー未満であり、中間層3の最も銀含有金属層4側の層の表面エネルギーよりも大きい表面エネルギーを有する反射防止膜1とする。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)