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1. (WO2018043506) 感放射線性組成物及びパターン形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/043506    国際出願番号:    PCT/JP2017/031011
国際公開日: 08.03.2018 国際出願日: 29.08.2017
IPC:
G03F 7/004 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G03F 7/32 (2006.01)
出願人: JSR CORPORATION [JP/JP]; 9-2, Higashi-Shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058640 (JP)
発明者: SHIRATANI Motohiro; (JP)
代理人: AMANO Kazunori; (JP)
優先権情報:
2016-166811 29.08.2016 JP
発明の名称: (EN) RADIATION SENSITIVE COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD
(FR) COMPOSITION SENSIBLE AU RAYONNEMENT ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF
(JA) 感放射線性組成物及びパターン形成方法
要約: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide: a radiation sensitive composition that has excellent LWR performance and sensitivity; and a pattern forming method. The present invention is a radiation sensitive composition that contains particles containing a metal oxide, cations containing a metal and anions each of which is a conjugate base of an acid, and wherein the pKa of the acid is 3 or less. The content of the particles is preferably 50% by mass or more, and more preferably 70% by mass or more in terms of solid content. The hydrodynamic radius of the particles as determined by dynamic light scattering analysis is preferably 10 nm or less. The total content of the cations and the anions per 100 parts by mass of the particles is preferably 5 parts by mass or more. The acid is preferably sulfonic acid, nitric acid, an organic azine acid, a disulfonylimide acid or a combination of these acids. The metal of the cations is preferably an element of group 2, group 3, group 4, group 5, group 6, group 7, group 8, group 9, group 10, group 11, group 12 or group 13.
(FR)La présente invention a pour objet une composition sensible au rayonnement qui a d'excellentes performances de LWR et une excellente sensibilité ainsi qu’un procédé de formation de motif. La composition sensible au rayonnement selon l’invention contient des particules contenant un oxyde métallique, des cations contenant un métal et des anions qui sont chacun une base conjuguée d’un acide, et la constante d’acidité pKa de l’acide étant est 3 ou moins. La teneur des particules est de préférence 50 % par masse ou plus, et de manière plus préférée de 70 % par masse ou plus en termes de contenu solide. Le rayon hydrodynamique des particules tel qu’il est déterminé par une analyse de diffusion de lumière dynamique est de préférence 10 nm ou moins. La teneur totale des cations et des anions pour 100 parties en masse des particules est de préférence 5 parts en masse ou plus. L’acide est de préférence de l’acide sulfonique, de l’acide nitrique, un acide azine organique, un acide disulfonylimide ou une combinaison de ces acides. Le métal des cations est de préférence un élément du groupe 2, du groupe 3, du groupe 4, du groupe 5, du groupe 6, du groupe 7, du groupe 8, du groupe 9, du groupe 10, du groupe 11, du groupe 12 ou du groupe 13.
(JA)本発明は、LWR性能及び感度に優れる感放射線性組成物及びパターン形成方法の提供を目的とする。本発明は、金属酸化物を含有する粒子と、金属を含むカチオンと、酸の共役塩基であるアニオンとを含有し、上記酸のpKaが3以下である感放射線性組成物である。上記粒子の含有量としては固形分換算で50質量%以上が好ましく、70質量%以上がより好ましい。上記粒子の動的光散乱法分析による流体力学半径としては10nm以下が好ましい。上記粒子100質量部に対する上記カチオン及び上記アニオンの合計含有量としては5質量部以上が好ましい。上記酸としてはスルホン酸、硝酸、有機アジン酸、ジスルホニルイミド酸又はこれらの組み合わせが好ましい。上記カチオンの金属としては、第2族、第3族、第4族、第5族、第6族、第7族、第8族、第9族、第10族、第11族、第12族又は第13族の元素が好ましい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)