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1. (WO2018043423) 照明光学系、リソグラフィ装置、及び物品製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/043423 国際出願番号: PCT/JP2017/030779
国際公開日: 08.03.2018 国際出願日: 28.08.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G02B 5/00 (2006.01) ,G02B 19/00 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
5
レンズ以外の光学要素
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
19
コンデンサー
出願人: CANON KABUSHIKI KAISHA[JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501, JP
発明者: SUDA Hiromi; JP
代理人: ABE Takuma; JP
KUROIWA Sogo; JP
優先権情報:
2016-16854630.08.2016JP
発明の名称: (EN) ILLUMINATING OPTICAL SYSTEM, LITHOGRAPHY DEVICE, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ARTICLE
(JA) 照明光学系、リソグラフィ装置、及び物品製造方法
要約:
(EN) Provided is an illuminating optical system that illuminates, using light emitted from a light source, a surface to be illuminated. This illuminating optical system has: an optical integrator that is disposed between a light source and a surface to be illuminated; and an optical filter having an adjustment unit that adjusts the intensity of light to be inputted to the optical integrator. The optical integrator is a rod-type optical integrator that reflects inputted light by an internal surface. The illuminating optical system changes the position of the adjustment unit in the direction perpendicular to the optical axis of the illuminating optical system, thereby changing illuminance on the surface to be illuminated.
(FR) L'invention concerne un système optique d'éclairage qui éclaire, grâce à la lumière émise par une source de lumière, une surface à éclairer. Ce système optique d'éclairage comprend : un intégrateur optique qui est disposé entre une source de lumière et une surface à éclairer ; et un filtre optique ayant une unité de réglage qui règle l'intensité de la lumière devant être entrée dans l'intégrateur optique. L'intégrateur optique est un intégrateur optique de type tige qui réfléchit la lumière entrée par une surface interne. Le système optique d'éclairage change la position de l'unité de réglage dans la direction perpendiculaire à l'axe optique du système optique d'éclairage, changeant ainsi l'éclairement sur la surface à éclairer.
(JA) 光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系が提供される。照明光学系は、光源と被照明面との間に配置されたオプティカルインテグレータと、オプティカルインテグレータに入射される光の強度を調整する調整部を有する光学フィルタとを有する。オプティカルインテグレータは、入射した光を内面で反射させるロッド型オプティカルインテグレータである。照明光学系は、該照明光学系の光軸に垂直な方向における調整部の位置を変更することにより被照明面における照度を変更する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)