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1. (WO2018043395) ネガ型感光性樹脂組成物、感光性レジストフィルム、パターン形成方法、硬化膜、硬化膜の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/043395    International Application No.:    PCT/JP2017/030721
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Aug 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/004
C08K 3/22
C08K 5/49
C08K 5/55
C08L 63/00
G03F 7/038
G03F 7/075
G03F 7/20
Applicants: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
東京応化工業株式会社
Inventors: NAKAMURA Ryosuke
中村 亮輔
ANDO Tomoyuki
安藤 友之
YAMADAYA Tokunori
山田谷 徳紀
Title: ネガ型感光性樹脂組成物、感光性レジストフィルム、パターン形成方法、硬化膜、硬化膜の製造方法
Abstract:
エポキシ基含有樹脂と、金属酸化物と、カチオン重合開始剤(I)とを含有するネガ型感光性樹脂組成物。カチオン重合開始剤(I)は、一般式(I1)で表される化合物、及び一般式(I2)で表される化合物からなる群より選ばれる1種以上を含むことを特徴とする。式(I1)中、Rb01~Rb04は、置換基を有していてもよいアリール基、又はフッ素原子である。式(I2)中、Rb05は、置換基を有していてもよいフッ素化アルキル基、又はフッ素原子である。複数のRb05は、互いに同一でもよく異なっていてもよい。qは1以上の整数であり、Qq+はq価の有機カチオンである。