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1. (WO2018043391) マスク一体型表面保護テープ

Pub. No.:    WO/2018/043391    International Application No.:    PCT/JP2017/030714
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Aug 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
B23K 26/38
C09J 7/02
C09J 201/00
H01L 21/301
Applicants: FURUKAWA ELECTRIC CO., LTD.
古河電気工業株式会社
Inventors: GOTO, Yusuke
五島 裕介
YOKOI, Hirotoki
横井 啓時
Title: マスク一体型表面保護テープ
Abstract:
プラズマダイシング方式用であって、薄膜化の程度が大きい裏面研削工程での半導体ウェハのパターン面の保護性、表面保護テープの基材フィルムからのマスク材層の剥離性に優れ、糊残りが少なく、不良チップの発生が少ないマスク一体型表面保護テープを提供する。また、フォトリソグラフィプロセス不要のマスク一体型表面保護テープを提供する。