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1. (WO2018043305) 基材表面の選択的修飾方法及び組成物

Pub. No.:    WO/2018/043305    International Application No.:    PCT/JP2017/030428
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Aug 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/312
B05D 3/02
B05D 7/00
H01L 21/3065
Applicants: JSR CORPORATION
JSR株式会社
Inventors: KOMATSU Hiroyuki
小松 裕之
ODA Tomohiro
小田 智博
OSAKI Hitoshi
大▲崎▼ 仁視
HORI Masafumi
堀 雅史
NARUOKA Takehiko
成岡 岳彦
Title: 基材表面の選択的修飾方法及び組成物
Abstract:
本発明は、ケイ素を含む表面領域を簡便に、高選択的かつ高密度に修飾することができる基材表面の選択的修飾方法及び組成物の提供を目的とする。本発明は、ケイ素を含む第1領域を表層に有する基材を準備する工程と、上記基材の表面に、上記ケイ素と結合する第1官能基を含む基を主鎖又は側鎖の末端に有する第1重合体及び溶媒を含有する組成物を塗工する工程と、上記塗工工程により形成される塗膜を加熱する工程とを備える基材表面の選択的修飾方法である。上記第1領域は、ケイ素酸化物、ケイ素窒化物又はケイ素酸化物窒化物を含むことが好ましい。上記基材は、第1領域以外の領域であって、金属を含む第2領域をさらに有し、上記加熱工程の後に、上記塗膜のうち上記第2領域上に形成された部分をリンス液により除去する工程をさらに備えることが好ましい。