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1. (WO2018042946) 圧電体膜及びそれを備えた圧電素子

Pub. No.:    WO/2018/042946    International Application No.:    PCT/JP2017/026703
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jul 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 41/187
C01F 17/00
C01G 25/00
C01G 33/00
C23C 14/08
H01L 41/09
H01L 41/316
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: MURAKAMI, Naoki
村上 直樹
SAWAKI, Daigo
澤木 大悟
Title: 圧電体膜及びそれを備えた圧電素子
Abstract:
圧電特性が高い圧電体膜及びその圧電体膜を備えた圧電素子を提供する。 下記一般式Pで表されるペロブスカイト型酸化物を含む圧電体膜において、0.1≦x≦0.3、0<y≦0.49xとする。 A1+δ[(Zr,Ti)1-x-yNbxScy]Oz・・・一般式P 一般式P中、AはPbを主成分とするAサイト元素であり、δ=0及びz=3が標準であるが、これらの値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で標準値からずれてもよい。