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1. (WO2018042897) ステージ装置、及び荷電粒子線装置
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国際公開番号: WO/2018/042897 国際出願番号: PCT/JP2017/025365
国際公開日: 08.03.2018 国際出願日: 12.07.2017
IPC:
H01J 37/20 (2006.01) ,B23Q 1/72 (2006.01) ,G12B 5/00 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
20
物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
B 処理操作;運輸
23
工作機械;他に分類されない金属加工
Q
工作機械の細部;構成部分,または付属装置,例.倣いまたは制御装置;特定の細部または構成部分の構造により特徴づけられる工作機械一般;特定の結果を目的としない金属加工機械の組合わせ
1
一般に工作機械の形態を構成する部材,特に比較的大きな固定部材
72
補助装置;補助テーブルと可動機械要素との間の相互連結
G 物理学
12
器械の細部
B
他に分類されない器械の構造上の細部または他の装置の類似の細部
5
器械または他の装置の,またはその部品の位置または姿勢,例.水平,の調節;傾斜または加速度の影響の補償,例.光学装置のためのもの
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
高橋 宗大 TAKAHASHI Motohiro; JP
水落 真樹 MIZUOCHI Masaki; JP
中川 周一 NAKAGAWA Shuichi; JP
小川 博紀 OGAWA Hironori; JP
加藤 孝宜 KATO Takanori; JP
代理人:
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
優先権情報:
2016-16747630.08.2016JP
発明の名称: (EN) STAGE DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À ÉTAGE ET DISPOSITIF DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) ステージ装置、及び荷電粒子線装置
要約:
(EN) The present invention relates to a charged particle beam device wherein a table deformation arising from the movement of a rolling element from a guide can be suppressed via a simple constitution. Provided in the sample stage containing a table (105) and a linear guide, which comprises a carriage (201), a rolling element, and a guide rail (202), is a distortion-insulating guide structure characterized by the connection between the carriage (201) and the table (105) being mediated by an adapter (401) that is an elastic deformable member. The invention also provides a stage using the guide structure and a charged particle beam device using the stage.
(FR) La présente invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées dans lequel une déformation de table résultant du mouvement d'un élément roulant à partir d'un guide peut être supprimée par l'intermédiaire d'une constitution simple. Dans l'étage d'échantillon contenant une table (105) et un guide linéaire, qui comprend un chariot (201), un élément roulant et un rail de guidage (202), se trouve une structure de guidage d'isolation de distorsion caractérisée par le fait que la liaison entre le chariot (201) et la table (105) est médiée par un adaptateur (401) qui est un élément déformable élastique. L'invention concerne également un étage utilisant la structure de guidage et un dispositif de faisceau de particules chargées utilisant l'étage.
(JA) 本発明は、簡易な構成でガイドの転動体の移動に起因するテーブル変形を抑制することのできる荷電粒子線装置に関するものであって、キャリッジ(201)と転動体とガイドレール(202)を有するリニアガイドと、テーブル(105)を有する試料ステージにおいて、キャリッジ(201)とテーブル(105)の間を弾性変形可能な部材であるアダプタ(401)を介して接続することを特徴とする歪み絶縁ガイド構造、および前記ガイド構造を用いたステージ、および前記ステージを用いた荷電粒子線装置を提案する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)