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1. (WO2018042796) レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/042796    国際出願番号:    PCT/JP2017/020640
国際公開日: 08.03.2018 国際出願日: 02.06.2017
IPC:
H01L 21/268 (2006.01), B23K 26/10 (2006.01), B65G 51/03 (2006.01), H01L 21/20 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
出願人: THE JAPAN STEEL WORKS, LTD. [JP/JP]; 11-1, Osaki 1-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410032 (JP)
発明者: FUJI Takahiro; (JP).
SUZUKI Yuki; (JP).
MIKAMI Takahiro; (JP).
YAMAGUCHI Yoshihiro; (JP)
代理人: IEIRI Takeshi; (JP)
優先権情報:
2016-166465 29.08.2016 JP
発明の名称: (EN) LASER IRRADIATION DEVICE, LASER IRRADIATION METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'IRRADIATION LASER, PROCÉDÉ D'IRRADIATION LASER ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR
(JA) レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法
要約: front page image
(EN)A laser irradiation device (1) according to an embodiment irradiates a body to be processed (16) with laser light (15) while the body to be processed (16) is caused to float by means of a float unit (10) and is transported. The float unit (10) is provided with a precision float area (11a, 11b) and a rough float area (13a to 13j). The precision float area (11a, 11b) is configured to cause the body to be processed (16) to float using ejection and suction of gas. The rough float area is configured to cause the body to be processed (16) to float using ejection of gas without using suction of gas.
(FR)Un dispositif d'irradiation laser (1), selon un mode de réalisation, irradie un corps à traiter (16) avec une lumière laser (15) tandis que le corps à traiter (16) est amené à flotter au moyen d'une unité de flotteur (10) et est transporté. L'unité de flotteur (10) est pourvue d'une zone de précision (11a, 11b) et d'une zone d'approximation (13a à 13j). La zone de précision (11a, 11b) du flotteur est conçue pour amener le corps à traiter (16) à flotter par éjection et aspiration de gaz. La zone d'approximation du flotteur est conçue pour amener le corps à traiter (16) à flotter par éjection de gaz, mais sans aspiration de gaz.
(JA)一実施の形態にかかるレーザ照射装置(1)は、被処理体(16)を浮上ユニット(10)を用いて浮上させて搬送しながら被処理体(16)にレーザ光(15)を照射する。浮上ユニット(10)は、精密浮上領域(11a、11b)、及びラフ浮上領域(13a~13j)を備える。精密浮上領域(11a、11b)は、ガスの噴出および吸引を用いて被処理体(16)を浮上させるように構成されており、ラフ浮上領域は、ガスの吸引を用いず、ガスの噴出を用いて被処理体(16)を浮上させるように構成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)