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1. (WO2018042743) 基板検査装置、基板処理装置、基板検査方法および基板処理方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/042743    国際出願番号:    PCT/JP2017/013870
国際公開日: 08.03.2018 国際出願日: 03.04.2017
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585 (JP)
発明者: KASHIYAMA, Masahito; (JP).
PIECZULEWSKI, Charles; (JP).
MORITA, Akihiko; (JP).
MATSUO, Tomohiro; (JP)
代理人: FUKUSHIMA, Yoshito; (JP)
優先権情報:
2016-172267 02.09.2016 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE INSPECTION DEVICE, SUBSTRATE TREATMENT DEVICE, SUBSTRATE INSPECTION METHOD, AND SUBSTRATE TREATMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT, DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板検査装置、基板処理装置、基板検査方法および基板処理方法
要約: front page image
(EN)A substrate W is held by a rotating holding unit (252) such that the substrate can rotate. First image data indicating an image of the substrate is generated by picking up, at the time of performing first image pickup, the image of the substrate by means of an image pickup unit (1), said substrate being held by the rotating holding unit. After performing the first image pickup, the substrate is rotated by a predetermined angle by means of the rotating holding unit. Second image data indicating an image of the substrate is generated by picking up, at the time of performing second image pickup after rotating the substrate, the image of the substrate by means of the image pickup unit, said substrate being held by the rotating holding unit. On the basis of the first and second image data, whether there is a defective in the surface state of the substrate is determined.
(FR)Un substrat W est maintenu par une unité de maintien rotative (252) de telle sorte que le substrat peut tourner. Des premières données d'image indiquant une image du substrat sont générées par capture, au moment de la réalisation d'une première capture d'image, de l'image du substrat au moyen d'une unité de capture d'image (1), ledit substrat étant maintenu par l'unité de maintien rotative. Après la réalisation de la première capture d'image, le substrat est tourné d'un angle prédéterminé au moyen de l'unité de maintien rotative. Des secondes données d'image indiquant une image du substrat sont générées par capture, au moment de la réalisation d'une seconde capture d'image après la rotation du substrat, de l'image du substrat au moyen de l'unité de capture d'image, ledit substrat étant maintenu par l'unité de maintien rotative. Sur la base des premières et secondes données d'image, il est déterminé s'il existe un défaut dans l'état de surface du substrat.
(JA)回転保持部(252)により基板Wが回転可能に保持される。第1の撮像時に、前記回転保持部により保持された基板が撮像部(1)により撮像されることにより、基板の画像を示す第1の画像データが生成される。第1の撮像後に、前記回転保持部により予め定められた角度だけ基板が回転される。基板の回転後の第2の撮像時に、前記回転保持部により保持された基板が前記撮像部により撮像されることにより、基板の画像を示す第2の画像データが生成される。前記第1および前記第2の画像データに基づいて、基板の表面状態の欠陥の有無が判定される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)