国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018042705) III族窒化物微結晶凝集体の製造方法、窒化ガリウム微結晶凝集体の製造方法、III族窒化物微結晶凝集体およびスパッタリングターゲット

Pub. No.:    WO/2018/042705    International Application No.:    PCT/JP2017/006003
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Feb 18 00:59:59 CET 2017
IPC: C30B 29/38
C23C 14/34
C30B 9/10
C30B 9/12
H01L 21/203
H01L 21/208
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
OSAKA UNIVERSITY
国立大学法人大阪大学
Inventors: TAKAHASHI, Nobuaki
高橋 伸明
NEISHI, Koji
根石 浩司
MIURA, Hitoshi
三浦 仁嗣
MORI, Yusuke
森 勇介
IMADE, Mamoru
今出 完
YOSHIMURA, Masashi
吉村 政志
Title: III族窒化物微結晶凝集体の製造方法、窒化ガリウム微結晶凝集体の製造方法、III族窒化物微結晶凝集体およびスパッタリングターゲット
Abstract:
酸素不純物濃度が低く、金属ガリウムにより空隙を埋めなくても空隙が少ないIII族窒化物微結晶凝集体を得ることが可能なIII族窒化物微結晶凝集体の製造方法などを提供すること。第1のIII族窒化物微結晶凝集体の製造方法は、III族元素金属およびIII族元素化合物の一方または両方と、アルカリ金属とを少なくとも含み、かつ、種結晶基板を含まない金属融液中で、III族元素金属およびIII族元素化合物の一方または両方と窒素含有ガスとを反応させてIII族窒化物微結晶を製造するIII族窒化物微結晶製造工程を含み、III族窒化物微結晶製造工程において、金属融液中に溶解した窒素含有ガスによる金属溶液中の窒素濃度が過飽和の状態でIII族窒化物微結晶を析出させる。