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1. (WO2018042627) ターゲット生成装置及び極端紫外光生成装置

Pub. No.:    WO/2018/042627    International Application No.:    PCT/JP2016/075832
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Sep 03 01:59:59 CEST 2016
IPC: H05G 2/00
G03F 7/20
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: SHIRAISHI, Yutaka
白石 裕
NISHISAKA, Toshihiro
西坂 敏博
Title: ターゲット生成装置及び極端紫外光生成装置
Abstract:
本開示の一観点に係るターゲット生成装置は、ターゲット物質を収容するタンクと、タンクに配置されたヒータと、タンクの内部と連通するノズルと、タンクの内部と連通するガス導入口を有する蓋部と、タンクの内部に配置され、ガス導入口へのターゲット物質の進入を抑制する複数枚の遮蔽板と、を備え、複数枚の遮蔽板の各々には、ガスを通過させる少なくとも1つの非遮蔽領域部が設けられ、複数枚の遮蔽板のうち少なくともいずれか2枚の遮蔽板の非遮蔽領域部は、2枚の遮蔽板間で相互に見通せない位置に設けられている。