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1. (WO2018042581) パターン計測装置、及びコンピュータープログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

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国際公開番号:    WO/2018/042581    国際出願番号:    PCT/JP2016/075588
国際公開日: 08.03.2018 国際出願日: 01.09.2016
IPC:
G01B 15/04 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
発明者: FUKUDA Hiroshi; (JP)
代理人: TODA Yuji; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) PATTERN MEASUREMENT DEVICE AND COMPUTER PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE MOTIF ET PROGRAMME INFORMATIQUE
(JA) パターン計測装置、及びコンピュータープログラム
要約: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a pattern measurement device that achieves both high-throughput measurement using a small number of measurements and high-accuracy measurement that uses statistical processing. To accomplish this purpose, the present invention proposes a pattern measurement device provided with a calculation processing device that acquires the signal intensity distribution for a plurality of positions included in a scanning region from a signal obtained through beam scanning; substitutes, into a probability density function having the signal intensity distribution as a random variable and the coordinates within the scanning region as a variable, a signal intensity distribution based on the signal obtained from the beam scanning; and for the plurality of positions within the scanning region, sets the coordinates within the scanning region at which the probability density function is at the maximum or at which prescribed conditions are met as the edge position.
(FR)L'objet de la présente invention est de fournir un dispositif de mesure de motif qui assure une mesure à haut débit à l'aide d'un petit nombre de mesures et une mesure de grande précision utilisant un traitement statistique. À cet effet, la présente invention propose un dispositif de mesure de motif pourvu d'un dispositif de traitement de calcul qui acquiert la distribution d'intensité de signal d'une pluralité de positions comprises dans une région de balayage à partir d'un signal obtenu par balayage de faisceau ; qui remplace, dans une fonction de densité de probabilité intégrant la distribution d'intensité de signal en tant que variable aléatoire et les coordonnées à l'intérieur de la région de balayage en tant que variable, une distribution d'intensité de signal sur la base du signal obtenu à partir du balayage de faisceau ; et qui, pour la pluralité de positions à l'intérieur de la région de balayage, définit les coordonnées à l'intérieur de la région de balayage pour lesquelles la fonction de densité de probabilité est maximale ou pour lesquelles des conditions prescrites sont satisfaites en tant que position de bord.
(JA)本発明は、少ない計測数による高スループット計測と、統計処理を用いた高精度計測を両立するパターン計測装置の提供を目的とする。この目的を達成するために、本発明では、ビーム走査によって得られる信号から、走査領域に含まれる複数位置の信号強度分布を取得し、当該信号強度分布を確率変数とすると共に、前記走査領域内座標を変数とする確率密度関数に、前記ビーム走査によって得られる信号に基づく信号強度分布を代入し、前記走査領域内の複数の位置について、前記確率密度関数が最大、或いは所定の条件を満たす前記走査領域内座標を、エッジ位置とする演算処理装置を備えたパターン計測装置を提案する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)