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1. (WO2018042581) パターン計測装置、及びコンピュータープログラム

Pub. No.:    WO/2018/042581    International Application No.:    PCT/JP2016/075588
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Sep 02 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01B 15/04
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
Inventors: FUKUDA Hiroshi
福田 宏
Title: パターン計測装置、及びコンピュータープログラム
Abstract:
本発明は、少ない計測数による高スループット計測と、統計処理を用いた高精度計測を両立するパターン計測装置の提供を目的とする。この目的を達成するために、本発明では、ビーム走査によって得られる信号から、走査領域に含まれる複数位置の信号強度分布を取得し、当該信号強度分布を確率変数とすると共に、前記走査領域内座標を変数とする確率密度関数に、前記ビーム走査によって得られる信号に基づく信号強度分布を代入し、前記走査領域内の複数の位置について、前記確率密度関数が最大、或いは所定の条件を満たす前記走査領域内座標を、エッジ位置とする演算処理装置を備えたパターン計測装置を提案する。