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1. (WO2018042580) 画像測定方法、画像測定プログラム及び画像測定装置、並びに物品の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/042580    International Application No.:    PCT/JP2016/075580
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Sep 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01B 11/00
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: KUBOTA, Junichi
窪田純一
Title: 画像測定方法、画像測定プログラム及び画像測定装置、並びに物品の製造方法
Abstract:
簡単に画像測定することが可能な画像測定方法を提供するため、第1の物品における異なる部分の画像の中から、該画像に関する特徴に基づいて、画像を選択することと、前記選択された画像と、第2の物品における前記選択された画像に対応する部分の画像とに基づいて、前記第2の物品に関する位置合わせを行うことと、前記第2の物品を画像測定することを含んでいる。