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1. (WO2018042563) ドロップレット回収装置

Pub. No.:    WO/2018/042563    International Application No.:    PCT/JP2016/075529
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Sep 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: H05G 2/00
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: KAMIKANNA Kazukiyo
上鉄穴 一磨
IWAMOTO Fumio
岩本 文男
Title: ドロップレット回収装置
Abstract:
ドロップレット回収装置は、チャンバの壁の外壁面側に配置され、前記チャンバの壁に設けられる開口を介して前記チャンバ内部に連通するよう構成される回収用容器と、回収用容器の内部に配置され、開口から回収用容器に供給されるドロップレットを衝突させる衝突板と、衝突板よりも開口側に配置され、衝突板に衝突するドロップレットの衝撃を緩和する緩衝部材とを備え、緩衝部材は、複数の線材を束ねて板部材に固定した線材束を有し、複数の線材はそれぞれカーボンにより構成され、板部材はグラファイトにより構成され、複数の線材は、一方向に並べられた状態で、グラファイト化された接着剤により板部材に固定されるようにしてもよい。