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1. (WO2018042531) 計測装置及び計測方法

Pub. No.:    WO/2018/042531    International Application No.:    PCT/JP2016/075413
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Sep 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01J 37/21
H01J 37/10
H01J 37/20
H01J 37/244
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: TAKAHASHI, Noritsugu
高橋 範次
SAKAKIBARA, Makoto
榊原 慎
MORI, Wataru
森 渉
KAWANO, Hajime
川野 源
SASAKI, Yuko
笹氣 裕子
Title: 計測装置及び計測方法
Abstract:
荷電粒子線を照射することによって試料の計測を行う計測装置であって、粒子源、電子レンズ、検出器、ステージ、環境を計測するセンサ、及び制御装置を備え、制御装置は、試料の計測位置における試料の高さの予測値を示す高さ予測値を算出する高さ算出モジュールと、試料の計測位置及び前記センサによって計測された環境の変化量に基づいて、環境の変化を反映した補正値を算出する補正値算出モジュールと、を含む制御モジュールを有し、制御モジュールは、補正値に基づいて高さ予測値を修正し、修正された高さ予測値に基づいて電子レンズを用いたフォーカス調整を制御するための制御値を設定する。