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1. (WO2018038193) 圧力式流量制御装置、その流量算出方法および流量制御方法

Pub. No.:    WO/2018/038193    International Application No.:    PCT/JP2017/030251
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Aug 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01F 1/50
G05D 7/06
Applicants: FUJIKIN INCORPORATED
株式会社フジキン
Inventors: NAGASE Masaaki
永瀬 正明
HIRATA Kaoru
平田 薫
NISHINO Kouji
西野 功二
IKEDA Nobukazu
池田 信一
Title: 圧力式流量制御装置、その流量算出方法および流量制御方法
Abstract:
圧力式流量制御装置1は、オリフィス5の上流側圧力P1を下流側圧力P2の約2倍以上に保持した状態で、混合ガスを構成する2種類のガスの混合比がX:(1-X)であり、2種類のガスの密度、比熱比及び気体定数を混合比率で重み付けして算出した混合ガスの平均密度ρ、平均比熱比κ及び平均気体定数Rを用いて、混合ガスのフローファクターFFを、FF=(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2により算出し、オリフィスを通過する混合ガスの流量Qを、オリフィス断面積をS、オリフィスの上流側の混合ガスの圧力をP1、温度をT1として、Q=FF・S・P1(1/T1)1/2により算出する。