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1. (WO2018038150) 半導体装置
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国際公開番号: WO/2018/038150 国際出願番号: PCT/JP2017/030095
国際公開日: 01.03.2018 国際出願日: 23.08.2017
IPC:
H02N 1/06 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,H01G 7/06 (2006.01)
H 電気
02
電力の発電,変換,配電
N
他類に属しない電機
1
動くソリッド型静電荷運搬体を用いた静電発電機または電動機
06
誘導起電機
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
B
マイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3
可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
H 電気
01
基本的電気素子
G
コンデンサ;電解型のコンデンサ,整流器,検波器,開閉装置,感光装置また感温装置
7
機械的でない手段によって容量を変えるコンデンサ;その製造方法
06
与えられる電圧によって誘電率が変化するように選択された誘電体をもつもの,すなわち強誘電性コンデンサ
出願人:
株式会社デンソー DENSO CORPORATION [JP/JP]; 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 1-1, Showa-cho, Kariya-city Aichi 4488661, JP
アルベルト―ルートヴィヒ―ウニベルシタット フライブルク UNIVERSITY OF FREIBURG [DE/DE]; フライブルク、フリードリッヒ 39 Friedrichstr. 39, Freiburg 79098, DE
発明者:
合田 健太 GODA Kenta; JP
ポール オリバー PAUL, Oliver; DE
代理人:
金 順姫 JIN Shunji; JP
優先権情報:
2016-16400624.08.2016JP
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE
(FR) DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 半導体装置
要約:
(EN) A semiconductor device is provided with a fixed electrode (11), a movable electrode (12), and an elastic support body (13). The movable electrode faces a principal surface (11b) of the fixed electrode and is relatively movable with respect to the fixed electrode along the principal surface. The elastic support body supports the movable electrode so that the movable electrode is movable in an expansion-contraction direction. One of the fixed electrode and the movable electrode is an electret electrode. The fixed electrode and the movable electrode each have a plurality of electrode portions periodically formed in the expansion-contraction direction. The formation pitch of the electrode portions constituting the fixed electrode and the movable electrode is made smaller than twice a movement distance of the movable electrode from a state in which the movable electrode remains stationary to a state in which the elastic support body is compressed to a maximum extent. In the state in which the movable electrode remains stationary, when the principal surface is viewed in a plan view, the movable electrode is arranged at a position where the fixed electrode and the movable electrode are not overlapped with each other. In a state in which the movable electrode vibrates, a state occurs in which the fixed electrode and the movable electrode are overlapped with each other.
(FR) La présente invention concerne un dispositif à semi-conducteur qui est pourvu d’une électrode fixe (11), d’une électrode mobile (12), et d’un corps de support élastique (13). L’électrode mobile fait face à une surface principale (11b) de l’électrode fixe et est relativement mobile par rapport à l’électrode fixe le long de la surface principale. Le corps de support élastique soutient l’électrode mobile de telle sorte que l’électrode mobile soit mobile dans une direction de dilatation-contraction. L’une de l’électrode fixe et de l’électrode mobile est une électrode à électret. L’électrode fixe et l’électrode mobile comportent chacune une pluralité de parties d’électrode formées périodiquement dans la direction de dilatation-contraction. Le pas de formation des parties d’électrode constituant l’électrode fixe et l’électrode mobile est amené à être inférieur à deux fois une distance de déplacement de l’électrode mobile d’un état dans lequel l’électrode mobile reste stationnaire dans un état dans lequel le corps de support élastique est comprimé à un degré maximal. Dans l’état dans lequel l’électrode mobile reste stationnaire, lorsque la surface principale est observée dans une vue en plan, l’électrode mobile est agencée à une position où l’électrode fixe et l’électrode mobile ne se chevauchent pas mutuellement. Dans un état dans lequel l’électrode mobile vibre, un état survient dans lequel l’électrode fixe et l’électrode mobile se chevauchent mutuellement.
(JA) 半導体装置は、固定電極(11)と、可動電極(12)と、弾性支持体(13)と、を備える。可動電極は、固定電極の主面(11b)と対向し、主面に沿い、固定電極に対して相対的に移動可能である。弾性支持体は、伸縮方向に移動可能なように可動電極を支持する。固定電極と可動電極の一方はエレクトレット電極である。固定電極および可動電極は、伸縮方向において複数の電極部が周期的に形成されるものである。固定電極および可動電極を構成する電極部の形成周期は、可動電極が静止した状態から弾性支持体がもっとも圧縮される状態までの可動電極の移動距離の2倍よりも小さくされる。可動電極が静止した状態において、主面を正面視したとき、可動電極は、固定電極と可動電極とがオーバーラップしない位置に配置される。可動電極が振動した状態において、固定電極と可動電極とがオーバーラップする状態が生じる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)