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1. (WO2018038141) ロールツーロール方式の表面処理装置並びにこれを用いた成膜方法及び成膜装置
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国際公開番号: WO/2018/038141 国際出願番号: PCT/JP2017/030065
国際公開日: 01.03.2018 国際出願日: 23.08.2017
IPC:
C23C 14/56 (2006.01) ,C23C 16/54 (2006.01) ,H05K 3/00 (2006.01) ,H05K 3/16 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
56
連続被覆のために特に適合した装置;真空を維持するための装置,例.真空ロック
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
16
ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着(CVD)法
44
被覆の方法に特徴のあるもの
54
連続被覆に特に適合した装置
H 電気
05
他に分類されない電気技術
K
印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
3
印刷回路を製造するための装置または方法
H 電気
05
他に分類されない電気技術
K
印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
3
印刷回路を製造するための装置または方法
10
導電性物質が希望する導電模様を形成するように絶縁支持部材に施されるもの
14
導電性物質を付着するのにスプレ技術を用いるもの
16
カソードスパッタリングによるもの
出願人:
住友金属鉱山株式会社 SUMITOMO METAL MINING CO., LTD. [JP/JP]; 東京都港区新橋5丁目11番3号 11-3, Shimbashi 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1058716, JP
発明者:
大上 秀晴 OKAMI Hideharu; JP
代理人:
辻川 典範 TSUJIKAWA Michinori; JP
優先権情報:
2016-16278723.08.2016JP
発明の名称: (EN) ROLL-TO-ROLL SURFACE TREATMENT DEVICE, AND FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING DEVICE USING SAME
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SURFACE ROULEAU À ROULEAU, ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM UTILISANT LEDIT PROCÉDÉ
(JA) ロールツーロール方式の表面処理装置並びにこれを用いた成膜方法及び成膜装置
要約:
(EN) Provided is a roll-to-roll surface treatment device for an elongated base material, with which treatment can be performed such that hardly any wrinkles are formed in the elongated base material and costs are suppressed. The surface treatment device comprises, within a vacuum chamber: two can rolls around the outer peripheral surface of which an elongated resin film that is conveyed roll-to-roll is wound and which cool the elongated resin film with a cooling medium that circulates inside thereof; and a surface treatment means represented by a magnetron sputtering cathode that is provided at a position opposing the outer peripheral surface of the two can rolls. Among the two can rolls, a second can roll other than a first can roll that is positioned on the most upstream side includes a gas discharge mechanism that discharges gas from the outer peripheral surface.
(FR) L'invention concerne un dispositif de traitement de surface rouleau à rouleau pour un matériau de base allongé, grâce auquel un traitement peut être effectué de sorte que peu de plis soient formés dans le matériau de base allongé et que les coûts soient supprimés. Le dispositif de traitement de surface comprend, à l'intérieur d'une chambre à vide : deux rouleaux de boîte autour de la surface périphérique externe à partir desquels un film de résine allongé qui est transporté rouleau à rouleau est enroulé et qui refroidissent le film de résine allongé avec un milieu de refroidissement qui circule en leur sein ; et un moyen de traitement de surface représenté par une cathode de pulvérisation magnétron qui est disposée à une position opposée à la surface périphérique externe des deux rouleaux de boîte. Parmi les deux rouleaux de boîte, un second rouleau de boîte autre qu'un premier rouleau de boîte qui est positionné du côté le plus en amont comporte un mécanisme d'évacuation de gaz qui évacue le gaz de la surface périphérique externe.
(JA) コストを抑えつつ長尺基材にシワがほとんど発生しないよう処理することが可能なロールツーロール方式の長尺基材の表面処理装置を提供する。 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムを外周面に巻き付けて内部を循環する冷媒で冷却する2個のキャンロールと、これら2個のキャンロールの外周面に対向する位置に設けられたマグネトロンスパッタリングカソードに代表される表面処理手段とを有する表面処理装置であって、これら2個のキャンロールのうち、最も上流側に位置する第1キャンロール以外の第2キャンロールは外周面からガスを放出するガス放出機構を備えている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)