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1. (WO2018038071) 計測システム及び基板処理システム、並びにデバイス製造方法

Pub. No.:    WO/2018/038071    International Application No.:    PCT/JP2017/029854
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 23 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 9/00
G01B 21/00
G01B 21/30
H01L 21/68
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: ICHINOSE, Go
一ノ瀬 剛
SHIBAZAKI, Yuichi
柴崎 祐一
Title: 計測システム及び基板処理システム、並びにデバイス製造方法
Abstract:
マイクロデバイスの製造ラインで用いられる計測システム(500)は、それぞれ基板に対する計測処理を行なう複数の計測装置(1001~1003)と、複数の計測装置を制御可能な制御装置(530)と、を備え、前記複数の計測装置(1001~1003)は、基板に形成された複数のマークの位置情報を取得する第1計測装置を、少なくとも1つ含む。