WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2018037993) ダイヤフラムバルブと半導体製造装置用流量制御機器
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/037993    国際出願番号:    PCT/JP2017/029537
国際公開日: 01.03.2018 国際出願日: 17.08.2017
IPC:
F16K 7/12 (2006.01)
出願人: KITZ SCT CORPORATION [JP/JP]; 5-1, Ohmori-Kita 1-chome, Ohta-ku Tokyo 1430016 (JP)
発明者: KOU Chokuto; (JP)
代理人: KOBAYASHI, Tetsuo; (JP)
優先権情報:
2016-164489 25.08.2016 JP
発明の名称: (EN) DIAPHRAGM VALVE, AND FLOW RATE CONTROL DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
(FR) SOUPAPE À DIAPHRAGME, ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE DÉBIT POUR ÉQUIPEMENT DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) ダイヤフラムバルブと半導体製造装置用流量制御機器
要約: front page image
(EN)Provided is a diaphragm valve having a simple and optimal configuration such that it is possible to reliably increase the valve flow rate while avoiding size increases of the valve caused by increasing the diameter of a valve seat, increasing the stroke length, or the like, and it is also possible to maintain or increase the durability and life of the valve. Also provided is a flow rate control device for semiconductor manufacturing equipment. More specifically, this diaphragm valve comprises a valve seat portion and a diaphragm, the outer periphery of which is pressed against the valve chamber of a body having an inflow path and an outflow path, the diaphragm being provided so that the valve chamber is opened and closed by the vertical movement of a stem. The shape of the diaphragm is substantially flat in cross section, which has a central region that has a substantially flat shape and a boundary region that is located further toward the outer peripheral side than the central region and has a radius of curvature smaller than the central region. The boundary region is in the vicinity of the outer periphery of the valve seat portion.
(FR)L'invention concerne une soupape à diaphragme présentant une configuration simple et optimale de telle sorte qu'il est possible d'augmenter de manière fiable le débit de soupape tout en évitant des augmentations de taille de la soupape provoquées par l'augmentation du diamètre d'un siège de soupape, l'augmentation de la longueur de course, ou similaire, et il est également possible de maintenir ou d'augmenter la durabilité et la durée de vie de la soupape. L'invention concerne également un dispositif de commande de débit pour un équipement de fabrication de semi-conducteur. Plus spécifiquement, cette soupape à diaphragme comprend une partie siège de soupape et un diaphragme, dont la périphérie extérieure est pressée contre la chambre de soupape d'un corps présentant un trajet d'entrée et un trajet de sortie, le diaphragme étant disposé de telle sorte que la chambre de soupape est ouverte et fermée par le mouvement vertical d'une tige. La forme du diaphragme est sensiblement plate en coupe transversale, qui présente une région centrale qui a une forme sensiblement plate et une région de limite qui est située plus loin vers le côté périphérique externe que la région centrale et a un rayon de courbure plus petit que la région centrale. La région de limite est au voisinage de la périphérie externe de la partie siège de soupape.
(JA)弁座の大径化やストロークの増大などによるバルブの大型化を回避しつつバルブ流量を確実に増大可能であり、しかも、バルブの耐久性・寿命をも維持乃至向上可能とした、簡易かつ最適に構成されたダイヤフラムバルブと半導体製造装置用流量制御機器を提供することにある。 すなわち、流入流路と流出流路を有するボデーの弁室に外周囲を押圧したダイヤフラムと弁座シート部とを備え、このダイヤフラムをステムの昇降動により弁室を開閉自在に設けたダイヤフラムバルブであって、このダイヤフラムの形態は、略平面状の中央領域と、中央領域よりも外周側で且つ曲率半径が小さい境界領域とを有する断面略扁平形状を呈し、境界領域は、弁座シート部の外周側近傍に位置させたダイヤフラムバルブである。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)