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1. (WO2018037753) 圧力センサ
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Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/037753    国際出願番号:    PCT/JP2017/025588
国際公開日: 01.03.2018 国際出願日: 13.07.2017
IPC:
G01L 9/00 (2006.01)
出願人: DENSO CORPORATION [JP/JP]; 1-1, Showa-cho, Kariya-city, Aichi 4488661 (JP)
発明者: KANAZAWA Takeru; (JP).
ONO Kazuyuki; (JP).
KAWANO Shinji; (JP)
代理人: YOU-I PATENT FIRM; Nagoya Nishiki City Bldg. 4F 1-6-5, Nishiki, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003 (JP)
優先権情報:
2016-164390 25.08.2016 JP
発明の名称: (EN) PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
要約: front page image
(EN)This pressure sensor (1) has a pressure receiving recess (213) and a protective film (230). The pressure receiving recess is a recess which opens in a detection direction to form a detection space, the detection direction extending in a thickness direction. The pressure receiving recess has: a bottom surface (214) which is a flat surface parallel to an in-surface direction and which has an outer edge provided outside a diaphragm (218) in the in-surface direction; and a side wall surface (215) protruding in the detection direction from the outer edge of the bottom surface. The protective film which covers the bottom surface and the side wall surface has a fillet section (232) formed at the inside corner (216) where the bottom surface and side wall surface of the pressure receiving recess are connected. The fillet section is provided outside the diaphragm in the in-surface direction.
(FR)La présente invention concerne un capteur de pression (1) comportant un évidement de réception de pression (213) et un film de protection (230). L'évidement de réception de pression est un évidement qui s'ouvre dans une direction de détection en vue de former un espace de détection, la direction de détection s'étendant dans le sens de l'épaisseur. L'évidement de réception de pression comporte : une surface inférieure (214) qui est une surface plate parallèle à une direction en surface et qui comporte un bord externe disposé à l'extérieur d'un diaphragme (218) dans la direction en surface ; et une surface de paroi latérale (215) faisant saillie dans la direction de détection à partir du bord externe de la surface inférieure. Le film de protection qui recouvre la surface inférieure et la surface de paroi latérale comporte une section de congé de raccordement (232) formée au niveau du coin intérieur (216) où la surface inférieure et la surface de paroi latérale de l'évidement de réception de pression sont reliées. La section de congé de raccordement est disposée à l'extérieur du diaphragme dans la direction en surface.
(JA)圧力センサ(1)は、受圧凹部(213)と保護膜(230)とを有している。受圧凹部は、厚さ方向に沿った検出方向に向かって開口することで検出空間を構成する凹部である。受圧凹部は、面内方向と平行な平面であって外縁部が面内方向についてダイアフラム(218)の外側に設けられた底面(214)と、底面の外縁部から検出方向に向かって突設された側壁面(215)とを有している。底面と側壁面とを被覆する保護膜は、受圧凹部における底面と側壁面との接続部である入隅部(216)に形成された隅肉部(232)を有している。隅肉部は、面内方向についてダイアフラムの外側に設けられている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)