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1. (WO2018037751) 太陽電池セル及びその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/037751    International Application No.:    PCT/JP2017/025568
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jul 14 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 31/0248
H01L 31/0747
Applicants: PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO.,LTD.
パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventors: TAKAHAMA Tsuyoshi
高濱 豪
SHINOHARA Wataru
篠原 亘
ICHIHASHI Yoshinari
市橋 由成
YOSHIMURA Naoki
吉村 直記
Title: 太陽電池セル及びその製造方法
Abstract:
半導体基板10にレーザを照射することによって表面をアモルファス化して真性アモルファス層12i、第1導電型層12n及び第2導電型層12pを形成する工程、真性アモルファス層12i、第1導電型層12n及び第2導電型層12pに水素を導入する工程と、を含む太陽電池セル100の製造方法とする。