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1. (WO2018037634) 磁気センサおよび電流センサ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/037634 国際出願番号: PCT/JP2017/017982
国際公開日: 01.03.2018 国際出願日: 12.05.2017
IPC:
H01L 43/08 (2006.01) ,G01R 15/20 (2006.01) ,G01R 33/09 (2006.01) ,H01L 43/10 (2006.01)
出願人: ALPS ELECTRIC CO., LTD.[JP/JP]; 1-7, Yukigaya-otsukamachi, Ota-ku, Tokyo 1458501, JP
発明者: IDE, Yosuke; JP
代理人: OKUBO, Katsuyuki; JP
優先権情報:
2016-16264223.08.2016JP
発明の名称: (EN) MAGNETIC SENSOR AND CURRENT SENSOR
(FR) CAPTEUR MAGNÉTIQUE ET CAPTEUR DE COURANT
(JA) 磁気センサおよび電流センサ
要約: front page image
(EN) Provided is a magnetic sensor 1 which is provided with a magnetoresistive effect element that is not susceptible to decrease in the sensitivity even if stored in a high temperature environment for a long period of time, specifically a magnetoresistive effect element GMR 11 that has a sensitivity axis in a specific direction. The magnetoresistive effect element GMR 11 is provided with a first antiferromagnetic layer 24 on a surface of a free magnetic layer 23, said surface being on the reverse side of the surface facing a non-magnetic material layer 21b. The free magnetic layer 23 is provided with: a misfit reduction layer 23b which is formed to be in contact with the first antiferromagnetic layer 24 and reduces the lattice mismatch of the free magnetic layer 23 with respect to the first antiferromagnetic layer 24; and a ferromagnetic layer 23a on a surface of the misfit reduction layer 23b, said surface being on the reverse side of the surface facing the first antiferromagnetic layer 24. The ferromagnetic layer 23a is provided with an NiFeM layer 231a (wherein M is composed of one or more elements selected from among Ta, Cr, Nb, Rh, Zr, Mo, Al, Au, Pd, Pt and Si).
(FR) La présente invention concerne un capteur magnétique 1 qui est pourvu d’un élément à effet magnétorésistif qui n’est pas susceptible de diminuer la sensibilité, même s’il est stocké dans un environnement à haute température pendant une longue durée, spécifiquement, un élément à effet magnétorésistif GMR 11 qui a un axe de sensibilité dans une direction spécifique. L’élément à effet magnétorésistif GMR 11 est pourvu d’une première couche antiferromagnétique 24 sur une surface d’une couche magnétique libre 23, ladite surface étant sur le côté opposé à la surface faisant face à une couche de matériau non magnétique 21b. La couche magnétique libre 23 est pourvue de : une couche de réduction de défaut 23b qui est formée de manière à être en contact avec la première couche antiferromagnétique 24 et réduit le défaut de réseau atomique de la couche magnétique libre 23 par rapport à la première couche antiferromagnétique 24 ; et une couche ferromagnétique 23a sur une surface de la couche de réduction de défaut 23b, ladite surface étant sur le côté opposé à la surface faisant face à la première couche antiferromagnétique 24. La couche ferromagnétique 23a est pourvue d’une couche de NiFeM 231a (où M est composé d’un ou plusieurs éléments choisis parmi Ta, Cr, Nb, Rh, Zr, Mo, Al, Au, Pd, Pt et Si).
(JA) 高温環境下に長時間保存された場合であっても感度低下が生じにくい磁気抵抗効果素子を備える磁気センサとして、特定の方向に感度軸を持つ磁気抵抗効果素子GMR11を備えた磁気センサ1であって、磁気抵抗効果素子GMR11は、フリー磁性層23における非磁性材料層21bに対向する側の反対側に第1反強磁性層24を備え、フリー磁性層23は、第1反強磁性層24に接するように設けられフリー磁性層23の第1反強磁性層24に対する格子非整合を低減させるミスフィット低減層23b、およびミスフィット低減層23bにおける第1反強磁性層24に対向する側の反対側に強磁性層23aを備え、強磁性層23aは、NiFeM層(Mは、Ta、Cr、Nb、Rh、Zr、Mo、Al、Au、Pd、Pt、およびSiから選択される1種または2種以上の元素からなる。)231aを備える磁気センサ1が提供される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)