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1. (WO2018037444) 電子顕微鏡および観察方法
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国際公開番号:    WO/2018/037444    国際出願番号:    PCT/JP2016/074355
国際公開日: 01.03.2018 国際出願日: 22.08.2016
IPC:
H01J 37/295 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01), H01J 37/26 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
発明者: TAMAKI Hirokazu; (JP).
TAMURA Keiji; (JP).
TANIGUCHI Yoshifumi; (JP).
KASAI Hiroto; (JP).
YAGUCHI Toshie; (JP).
YOTSUJI Takafumi; (JP).
HARADA Ken; (JP)
代理人: POLAIRE I.P.C.; 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) ELECTRON MICROSCOPE AND OBSERVATION METHOD
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION
(JA) 電子顕微鏡および観察方法
要約: front page image
(EN)Provided is an electron microscope which irradiates a sample with an electron beam to perform observation, the electron microscope comprising: an edge element that is disposed in a diffraction plane, or a plane equivalent thereto, at which non-diffracted waves that pass without receiving diffraction from the sample converge; and a control device that controls the electron beam or the edge element. The edge element includes a shield part that blocks the electron beam, and an opening through which the electron beam passes. The opening is constituted by an edge of the shield member so as to surround the point at which the non-diffracted waves converge in the diffraction plane. The control device changes the contrast of an observation image by maintaining the distance between the point at which the non-diffracted waves converge and the edge at a predetermined interval, and changing the position of the point at which the non-diffracted waves converge, such change made relative to the edge and along the edge.
(FR)L'invention concerne un microscope électronique qui irradie un échantillon avec un faisceau d'électrons pour effectuer une observation, le microscope électronique comprenant : un élément de bord qui est disposé dans un plan de diffraction, ou un plan équivalent à celui-ci, au niveau duquel des ondes non diffractées qui passent sans réception de diffraction à partir de l'échantillon convergent; et un dispositif de commande qui commande le faisceau d'électrons ou l'élément de bord. L'élément de bord comprend une partie de blindage qui bloque le faisceau d'électrons, et une ouverture à travers laquelle passe le faisceau d'électrons. L'ouverture est constituée par un bord de l'élément de blindage de manière à entourer le point auquel les ondes non diffractées convergent dans le plan de diffraction. Le dispositif de commande change le contraste d'une image d'observation en maintenant la distance entre le point auquel les ondes non diffractées convergent et le bord à un intervalle prédéterminé, et à modifier la position du point auquel convergent les ondes non diffractées, un tel changement étant effectué par rapport au bord et le long du bord.
(JA)試料に対し電子線を照射し観察を行う電子顕微鏡は、前記試料から回折を受けずに透過する非回折波が収束する回折面ないし回折面と等価な面内に配置されるエッジ素子と、前記電子線または前記エッジ素子を制御する制御装置と、を備える。前記エッジ素子は前記電子線を遮断する遮蔽部と前記電子線を透過する開口とを有し、前記開口は前記非回折波が収束する点を前記回折面内において囲むように前記遮蔽部のエッジにより構成される。前記制御装置は前記非回折波が収束する点と前記エッジとの距離を所定間隔に保って前記非回折波が収束する点を前記エッジに沿って前記エッジに対して相対的に位置を変化させることにより観察像のコントラストを変化させる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)